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公开(公告)号:CN104121867B
公开(公告)日:2017-01-18
申请号:CN201410384351.7
申请日:2014-08-06
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法,涉及光学测量领域。本发明利用数字相移干涉仪提供光源、成像系统和干涉图分析软件,引入液晶空间光调制器作为计算全息的载体,通过计算全息干涉法,实现非球面反射镜的在线检测。测试光路中引入零位补偿透镜补偿非球面镜的球差,而残余波像差则通过ZEMAX光线追迹得到,通过波像差的Zernike系数和Zernike表达式,获得其数学模型,通过计算全息编码,将其制作成计算全息图加载到液晶空间光调制器上,经过调制形成参考光,并与测试光干涉。该方法利用数字相移干涉仪强大的干涉图分析功能和液晶空间光调制器实时显示计算全息图的功能,能够实时地进行非球面镜的在线检测。
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公开(公告)号:CN103791855A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201410062280.9
申请日:2014-02-24
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 用于检测非球面的高精度位相型计算全息图的编码方法,涉及计算全息技术领域,消除了计算全息图在全息编码过程中产生的编码误差,阻断该误差从源头逐级传递和放大,提高计算全息图再现基准波面的精度。包括:对连续非球面数学模型进行抽样离散化,再以2π为模对其进行周期量化获得位相图,通过放大取整将其转换为灰阶图,生成位相型计算全息图;提取全息图每个量化周期的最小边界值,建立线性方程组,求最小边界值偏差和每个量化周期的调整系数;通过非球面量化周期边界的定义,提取每个量化周期数据;用最小边界值偏差和调整系数,调整对应量化周期数据;累加每个量化周期数据,生成校正后位相型计算全息图。本发明适用于计算全息法检测非球面。
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公开(公告)号:CN104121867A
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN201410384351.7
申请日:2014-08-06
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法,涉及光学测量领域。本发明利用数字相移干涉仪提供光源、成像系统和干涉图分析软件,引入液晶空间光调制器作为计算全息的载体,通过计算全息干涉法,实现非球面反射镜的在线检测。测试光路中引入零位补偿透镜补偿非球面镜的球差,而残余波像差则通过ZEMAX光线追迹得到,通过波像差的Zernike系数和Zernike表达式,获得其数学模型,通过计算全息编码,将其制作成计算全息图加载到液晶空间光调制器上,经过调制形成参考光,并与测试光干涉。该方法利用数字相移干涉仪强大的干涉图分析功能和液晶空间光调制器实时显示计算全息图的功能,能够实时地进行非球面镜的在线检测。
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公开(公告)号:CN103791855B
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201410062280.9
申请日:2014-02-24
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 用于检测非球面的高精度位相型计算全息图的编码方法,涉及计算全息技术领域,消除了计算全息图在全息编码过程中产生的编码误差,阻断该误差从源头逐级传递和放大,提高计算全息图再现基准波面的精度。包括:对连续非球面数学模型进行抽样离散化,再以2π为模对其进行周期量化获得位相图,通过放大取整将其转换为灰阶图,生成位相型计算全息图;提取全息图每个量化周期的最小边界值,建立线性方程组,求最小边界值偏差和每个量化周期的调整系数;通过非球面量化周期边界的定义,提取每个量化周期数据;用最小边界值偏差和调整系数,调整对应量化周期数据;累加每个量化周期数据,生成校正后位相型计算全息图。本发明适用于计算全息法检测非球面。
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公开(公告)号:CN203964879U
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201420441536.2
申请日:2014-08-06
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于液晶空间光调制器非球面计算全息干涉检测装置,涉及一种计算全息干涉检测装置。其包括数字相移干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、分光镜(4)、扩束准直镜(5)、零位补偿透镜(6)、偏振片(8)和液晶空间光调制器(9)。该装置能够解决光学全息片加工周期长、加工成本高以及灵活性差的问题;并能克服单纯采用数字相移干涉仪只能测量浅度非球面的问题。本实用新型将数字相移干涉仪与液晶空间光调制器相结合,又引入零位补偿镜,通过双光路干涉原理,实现非球面的计算全息干涉计量。液晶空间光调制器加载全息图的实时性可满足非球面的在线检测。本实用新型适用于小尺度非球面反射镜的计算全息干涉检测。
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