公开(公告)号：CN119776766A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411962019.4

申请日：2024-12-27

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 姜巍 ,  崔文龙 ,  王麒翔 ,  田向毅 ,  李宗霖 ,  江奕霖

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明提出了一种耐腐蚀低摩擦的CoCrNiTiC中熵合金碳化物薄膜及其制备方法。其组成元素为Co、Cr、Ni、Ti和C。采用平面射频磁控溅射在基体和单晶硅片(100)上制备CoCrNiTiC中熵合金碳化物薄膜，靶材选择CoCrNi合金靶、Ti靶材、石墨靶，溅射过程中所通气体为纯度99.99％的Ar气，工作气压1.0Pa，沉积时间2h。本发明通过平面靶磁控溅射制备CoCrNiTiC高熵合金碳化物薄膜，该中熵合金碳化物薄膜厚度在600nm‑800nm，SEM显示薄膜表面均匀平整，无明显缺陷。且随着碳含量增加，薄膜摩擦系数逐步降低，耐腐蚀性增强，韧性得到改善。

公开(公告)号：CN118773562A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410870094.1

申请日：2024-07-01

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 姜巍 ,  江奕霖

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜的制备方法，它涉及一种薄膜材料的制备方法。本发明的目的是要解决现有刀具及工程设备在盐碱环境下服役会面临腐蚀失效风险的问题。方法：一、预处理；二、预溅射钛靶；三、磁控溅射钴铬镍合金靶和钛单质靶，工件表面得到N增强的CoCrNiTiN中熵氮化物薄膜。本发明通过氮促使薄膜中结构结晶化和中熵结构中多组元固溶的协同作用，实现了氮化物薄膜保持中熵结构的前提下耐腐蚀性的提升。本发明工艺简单，避免了制备过程中繁琐的步骤。本发明可获得一种耐腐蚀的CoCrNiTiN中熵合金氮化物薄膜。