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公开(公告)号:CN109490233B
公开(公告)日:2021-08-24
申请号:CN201910044305.5
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于FP干涉计级联增敏及光热技术的强度探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。创新点:所述探测激光器、隔离器I、耦合器依次连接,泵浦激光器、隔离器II、耦合器依次连接,耦合器环形器I、环形器II依次连接,FP干涉计I连接在环形器I上,FP干涉计II连接在环形器II上,环形器II、滤波器、光电探测器、数据采集卡、电脑依次连接。本发明将两个FP干涉计级联,使其产生游标效应,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1‑2个数量级。
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公开(公告)号:CN110534910B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201910833267.1
申请日:2019-09-04
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于光选择性调控金属‑二维有机无机杂化钙钛矿超材料的太赫兹环偶器件及其制备方法,它涉及微电子和太赫兹超材料功能器件领域。它要解决现有太赫兹环偶极子超材料存在结构和制备工艺繁琐、功能单一、应用范围窄的问题。器件:包括衬底、周期性排列的两个双开口金属谐振环结构单元和两个双开口金属谐振环上分别覆盖不同组分的二维有机无机杂化钙钛矿。方法:高阻硅上涂光刻胶,前烘、曝光、显影和定影;淀积金属;淀积Parylene,形成掩膜结构;涂钙钛矿溶液;退火;淀积Parylene,形成掩膜结构;涂钙钛矿溶液;退火。本发明应用条件简便、工作模式可自由切换,工艺简单、成本低。本发明应用于微电子和太赫兹超材料功能器件领域。
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公开(公告)号:CN110534909A
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201910832612.X
申请日:2019-09-04
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种基于MEMS平面结构重构的环偶与电偶可切换的太赫兹超材料转换器及其制备方法,它涉及一种工作模式可切换的太赫兹超材料转换器及其制备方法。本发明的目的是要解决平面太赫兹超材料环偶谐振调谐深度小,激励方式所需外部设备复杂、活性材料可选范围窄以及线性属性小的问题。它包括基体硅衬底、梳齿型静电驱动结构、固定金属结构阵列、可动金属结构阵列和悬浮硅框架。方法:一、沉积二氧化硅层;二、锚结构的光刻胶掩膜图形化;三、锚结构形成;四、结构层键合与减薄;五、金属结构单元图形化;六、光刻胶掩膜图形化;七、刻蚀硅和释放MEMS结构。本发明主要用于制备环偶与电偶可切换的太赫兹超材料转换器。
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公开(公告)号:CN110515224A
公开(公告)日:2019-11-29
申请号:CN201910835471.7
申请日:2019-09-04
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种双带可灵活选择性调控的石墨烯-金属槽超材料太赫兹慢光器件,涉及电磁与电磁波技术领域。本发明的目的是要解决现有的可调谐太赫兹EIT超材料慢光器件单工作频带,可调谐范围窄、结构和制备工艺复杂、激励方式所需外部设备繁琐、功能单一、可靠性低、活性材料可选范围窄以及线性属性小的问题。硅衬底层上设置有二氧化硅绝缘层,二氧化硅绝缘层上设置有周期性排列的图形化两石墨烯带结构,石墨烯带结构上设置有周期性排列的图形化金属槽结构,两石墨烯结构分别与第一金属电极Pad 1和第二金属电极Pad 2连接。本发明可获得一种双带可灵活选择性调控的石墨烯-金属槽超材料太赫兹慢光器件。
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公开(公告)号:CN109668846A
公开(公告)日:2019-04-23
申请号:CN201910044301.7
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于混合干涉计级联增敏的强度探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。本发明的创新点在于:探测激光器、隔离器I和耦合器II依次连接,所述泵浦激光器、隔离器II与耦合器II依次连接;环形器、滤波器、耦合器II、光电探测器、示波器依次连接;Sagnac干涉计和FP干涉计串联设置,Sagnac干涉计设置在耦合器II与环形器之间,FP干涉计与环形器连接。本发明将Sagnac干涉计与FP干涉计串联,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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公开(公告)号:CN109520951A
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201910043947.3
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于双Sagnac干涉计级联增敏的光谱探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。本发明的创新点在于:熊猫光纤和耦合器I构成Sagnac干涉计I,保偏空芯光子晶体光纤和耦合器II构成Sagnac干涉计II;宽谱光源、隔离器I和耦合器I依次连接,泵浦激光器、隔离器II与环形器依次连接;环形器、滤波器、光谱仪依次连接;Sagnac干涉计I和Sagnac干涉计II串联设置在隔离器I与环形器之间的光路上。本发明将两个Sagnac干涉计串联,使其产生游标效应,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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公开(公告)号:CN109507133A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201910043946.9
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于Sagnac干涉计级联增敏及光热技术的强度探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。本发明的创新点在于:探测激光器、隔离器I和耦合器I依次连接,泵浦激光器、隔离器II与耦合器III依次连接;滤波器、光电探测器、数据采集卡和电脑依次连接;Sagnac干涉计I和Sagnac干涉计II串联设置,Sagnac干涉计I设置在隔离器I与耦合器III之间的光路上,Sagnac干涉计II设置在耦合器III与滤波器之间的光路上。本发明将干涉计串联,使其产生游标效应,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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公开(公告)号:CN109507132A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201910043943.5
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于双光纤FP干涉计并联结构的光谱探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。创新点:包括FP干涉计I和FP干涉计II;宽谱光源、隔离器I和耦合器I依次连接,泵浦激光器、隔离器II与FP干涉计I依次连接;耦合器II、滤波器、光谱仪依次连接;环形器I和环形器II并联设置在耦合器I与耦合器II之间的光路上,环形器I与FP干涉计I连接,环形器II与FP干涉计II连接。本发明将两个FP干涉计并联,使其产生游标效应,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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公开(公告)号:CN109507130A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201910043933.1
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
CPC classification number: G01N21/31 , G01N21/01 , G01N21/171 , G01N21/45 , G01N2021/458
Abstract: 基于Sagnac双环并联结构及光热技术的强度探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。创新点:探测激光器、隔离器I和耦合器III依次连接,泵浦激光器、隔离器II与耦合器V依次连接;耦合器IV、滤波器、光电探测器、电脑依次连接;Sagnac干涉计I和Sagnac干涉计II并联设置在耦合器III与耦合器IV之间的光路上,Sagnac干涉计I与耦合器IV之间设置有衰减器,Sagnac干涉计II与耦合器III之间设置有耦合器V。本发明将干涉计并联,使其产生游标效应,利用游标效应增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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公开(公告)号:CN109507129A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201910043925.7
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 基于FP双腔级联增敏特性的光谱探测型气体传感器,属于气体浓度测量技术领域。本发明解决了现有光纤气体传感器的灵敏度有待提升的问题。创新点:包括FP干涉计I和FP干涉计II;探测激光器、隔离器I、环形器II、环形器I、滤波器、光谱仪依次连接,泵浦激光器、隔离器II与FP干涉计I依次连接;环形器I和环形器II串联设置在隔离器I与滤波器之间的光路上,环形器I与FP干涉计I连接,环形器II与FP干涉计II连接。本发明将两个FP干涉计级联,使其产生游标效应,利用游标效应的增敏特性来提高气体测量灵敏度,使被测气体测量灵敏度提高1-2个数量级。
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