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公开(公告)号：CN118960620A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411284588.8
申请日：2024-09-13
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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公开(公告)号：CN117553675B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311538445.0
申请日：2023-11-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02015 , G01B11/02
摘要： 基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪难以同时满足传感测头体积小、易于集成、热稳定性好及亚纳米级周期非线性误差需求的问题。技术要点：一体式双偏振分光组件的第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜并列设置，第一偏振分光棱镜上贴附有第一偏振片、第三偏振片、第一四分之一波片；第二偏振分光棱镜上贴附有第二偏振片、第四偏振片、第二四分之一波片；第一四分之一波片和第二四分之一波片的输出光路上目标反射镜，第三四分之一波片和第四四分之一波片的输出光路上设置有光电探测器。本发明设计装调更加灵活并降低了加工难度和加工误差。
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公开(公告)号：CN111442715B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010134345.1
申请日：2020-03-02
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将两束频率不同的空间分离光束输入至基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其中一体式二次分光组件包含两个彼此空间垂直的分光面，这两个分光面镀有偏振分光膜或非偏振分光膜，并且测量光束和参考光束在一体式二次分光组件中的行进路径长度相等。本发明所述的外差激光干涉仪显著降低了周期非线性误差，相对于其他现有空间分离式外差激光干涉仪同时兼具结构简单、热稳定性好、容差角大和易于集成装配的优点，满足了高端装备对外差激光干涉测量高精度和高分辨率的要求。
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公开(公告)号：CN110260782A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910609300.2
申请日：2019-07-08
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 基于巴俾涅补偿器的干涉仪非正交误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明在不需要改变系统原有光学器件位置与角度的前提下，通过在单频激光干涉仪非偏振分光镜后加入巴俾涅补偿器，利用巴俾涅补偿器偏振相关的相位延迟特性改变干涉光束中参考光束与测量光束之间的相位差，从光路原理结构上修正了系统的非正交误差，因此具有更高的修正精度和实时性。本发明能够有效解决单频激光干涉测量中非正交误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN109539976A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811403677.4
申请日：2018-11-23
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： G01B9/02058 , G01B9/0201 , G01B11/02
摘要： 基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对零差干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对零差干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN108225733A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810007423.4
申请日：2018-01-04
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供一种用于测量激光干涉镜组热漂移系数的测试系统，包括：真空腔、热辐射结构、隔热基板、热辐射器、激光干涉镜组、薄膜式温度传感器、真空法兰盘、真空阀、真空管、真空泵、热辐射器控制系统、温度采集系统、光学窗、导光原件、激光器、光电探测器和位移测量系统、气压传感器和气压表，该系统可以有效地解决空气折射率误差干扰激光干涉镜组热漂移系数测量的问题。另外，本发明还提供的一种用于测量激光干涉镜组热漂移系数的测试方法，该方法解决了热传递过程中激光干涉镜组的几何尺寸以及光学特性的变化滞后于环境温度的变化产生测量时刻温度数值与漂移数值不同步导致测量的热漂移系数不精确的问题。
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公开(公告)号：CN104037612A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410308387.7
申请日：2014-07-01
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于热稳频和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置属于激光应用技术领域，本发明采用声光移频技术将多台基于热稳频的横向塞曼激光器的输出激光频率锁定于同一台参考横向塞曼稳频激光器的输出激光频率上，从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值，目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足，为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。
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公开(公告)号：CN101615756B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200910072519.X
申请日：2009-07-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01S3/13
摘要： 基于腔长热调节的双纵模激光器偏频锁定方法和装置属于激光应用技术领域，本发明将1台功率平衡式双纵模稳频激光器A输出激光的频率作为基准频率，同时通过腔长热调节使n≥1台双纵模激光器B1，B2，...，Bn输出激光的频率与该基准频率保持为一固定差值，从而使双纵模激光器B1，B2，...，Bn输出激光具有统一的频率值，其相对频率稳定度和频率一致性均达到10-8，克服了传统稳频激光器中由于基准频率不一致导致稳频激光器之间的频率一致性仅达到10-6～10-7的不足。
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公开(公告)号：CN117553676B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311538447.X
申请日：2023-11-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02015 , G01B11/02
摘要： 基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪不满足对向目标间相对位移测量需求的问题。技术要点：激光光源的输出光路上左右依次并列设置有第一分束器与第二分束器，第一分束器与第二分束器均为偏振分束器；第一分束器的上方设置有第一反射器，第二分束器的右侧设置有第三反射器，第二分束器的前方设置有第二平面反射器，第二分束器的后方设置有第一平面反射器；第一平面反射器和第二平面反射器共同构成第二反射器组；第一分束器的左侧设置有第一光电探测器和第二光电探测器。本发明实现了对向物体间相对位移的测量。
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