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公开(公告)号：CN109633207A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811557462.8
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P21/00
CPC classification number: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了一种数字闭环加速度计片上在线自检测系统及方法，所述在线自检测系统包括MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器、数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块，其中：所述MEMS敏感结构由上电极、中间质量块、下电极构成；所述MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器构成闭环负反馈伺服系统；所述闭环负反馈伺服系统与数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块构成数字闭环自检测电路。本发明采用电学静电力激励MEMS敏感结构，可以实现加速度计谐波失真的自检测，避免了传统检测方式中对复杂仪器设备的依赖并能实现在线测量。
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公开(公告)号：CN109738670B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201811567085.6
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125 , G01P21/00 , G01R27/26
Abstract: 本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容Cref1、第二匹配电容Cref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放大器、第二电荷放大器、仪表放大器、频谱分析仪、第一反馈电容Cf1、第二反馈电容Cf2构成。本发明的测量系统可以实现对MEMS电容式加速度计中敏感电容的驱动和检测以及对不同特征参数的分离提取。本发明的电学测量方法以电学测量系统为基础，配合精确的传感器姿态控制，可以准确的实现MEMS电容式加速度计的特征参数的测量，进而为后续接口电路的设计工作提供参考和指导。
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公开(公告)号：CN109633207B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201811557462.8
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了一种数字闭环加速度计片上在线自检测系统及方法，所述在线自检测系统包括MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器、数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块，其中：所述MEMS敏感结构由上电极、中间质量块、下电极构成；所述MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器构成闭环负反馈伺服系统；所述闭环负反馈伺服系统与数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块构成数字闭环自检测电路。本发明采用电学静电力激励MEMS敏感结构，可以实现加速度计谐波失真的自检测，避免了传统检测方式中对复杂仪器设备的依赖并能实现在线测量。
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公开(公告)号：CN109738670A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811567085.6
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125 , G01P21/00 , G01R27/26
Abstract: 本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容Cref1、第二匹配电容Cref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放大器、第二电荷放大器、仪表放大器、频谱分析仪、第一反馈电容Cf1、第二反馈电容Cf2构成。本发明的测量系统可以实现对MEMS电容式加速度计中敏感电容的驱动和检测以及对不同特征参数的分离提取。本发明的电学测量方法以电学测量系统为基础，配合精确的传感器姿态控制，可以准确的实现MEMS电容式加速度计的特征参数的测量，进而为后续接口电路的设计工作提供参考和指导。
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