公开(公告)号：CN108520854B

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201810380617.9

申请日：2018-04-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  王源 ,  吴斌 ,  康秋实 ,  王特 ,  赵珈辉 ,  李义邦 ,  田艳红

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明公开了一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，所述方法步骤如下：对待键合材料的表面进行清洗→放置楔形片→放置玻璃晶片→活化待键合的晶片对→抽出楔形→手动施压完成键合。本发明通过利用紫外光能透过玻璃晶片对下方材料的待键合表面进行活化的方法，实施活化过程中的原位键合，既能减少污染物颗粒在表面的亲水性表面的吸附，也能在一定程度上降低人为因素的干扰，能够有效地提高玻璃与其他材料的键合质量，降低键合过程中的缺陷。

公开(公告)号：CN108520854A

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：CN201810380617.9

申请日：2018-04-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  王源 ,  吴斌 ,  康秋实 ,  王特 ,  赵珈辉 ,  李义邦 ,  田艳红

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明公开了一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，所述方法步骤如下：对待键合材料的表面进行清洗→放置楔形片→放置玻璃晶片→活化待键合的晶片对→抽出楔形→手动施压完成键合。本发明通过利用紫外光能透过玻璃晶片对下方材料的待键合表面进行活化的方法，实施活化过程中的原位键合，既能减少污染物颗粒在表面的亲水性表面的吸附，也能在一定程度上降低人为因素的干扰，能够有效地提高玻璃与其他材料的键合质量，降低键合过程中的缺陷。