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发明公开
步进扫描光刻机双台交换系统无效

公开(公告)号：CN102122120A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201110069546.9

申请日：2011-03-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘亚忠 , 崔继文 , 王绍腾

IPC: G03F7/20 , H01L21/68 , G03F9/00

Abstract: 步进扫描光刻机双台交换系统，本发明涉及一种步进扫描光刻机交换系统。以解决现有光刻机结构复杂，增加了硅片台运动过程中的加减速次数，光刻效率和空间利用率低及采用非质心驱动问题。硅片台和气浮驱动单元通过气浮轴承支撑在大理石基座上；硅片台通过X向直线电机驱动在相应的X向气浮导轨上运动；每个X向气浮导轨通过Y向直线电机驱动在相应的Y向导轨上运动，每个线缆台通过线缆台直线电机驱动在相应的X向线缆导轨上运动，每个硅片台上固定有X向读数头，X向气浮导轨上固定有X向光栅尺，X向气浮导轨上固定有Y向读数头，Y向导轨上固定有Y向光栅尺座和Y向光栅尺。本发明保证了硅片台质心驱动，用于步进扫描光刻机。

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