公开(公告)号：CN106282964B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201610685787.9

申请日：2016-08-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 白清顺 ,  余天凯 ,  王永旭 ,  杜云龙 ,  张庆春 ,  刘亚忠

IPC: C23C16/27

Abstract: 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。

公开(公告)号：CN106282964A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610685787.9

申请日：2016-08-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 白清顺 ,  余天凯 ,  王永旭 ,  杜云龙 ,  张庆春 ,  刘亚忠

IPC: C23C16/27

CPC classification number: C23C16/271

Abstract: 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。

公开(公告)号：CN102122120A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201110069546.9

申请日：2011-03-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘亚忠 ,  崔继文 ,  王绍腾

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68 ,  G03F9/00

Abstract: 步进扫描光刻机双台交换系统，本发明涉及一种步进扫描光刻机交换系统。以解决现有光刻机结构复杂，增加了硅片台运动过程中的加减速次数，光刻效率和空间利用率低及采用非质心驱动问题。硅片台和气浮驱动单元通过气浮轴承支撑在大理石基座上；硅片台通过X向直线电机驱动在相应的X向气浮导轨上运动；每个X向气浮导轨通过Y向直线电机驱动在相应的Y向导轨上运动，每个线缆台通过线缆台直线电机驱动在相应的X向线缆导轨上运动，每个硅片台上固定有X向读数头，X向气浮导轨上固定有X向光栅尺，X向气浮导轨上固定有Y向读数头，Y向导轨上固定有Y向光栅尺座和Y向光栅尺。本发明保证了硅片台质心驱动，用于步进扫描光刻机。