公开(公告)号：CN105349953B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201510658463.1

申请日：2015-10-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李丽 ,  李炳生 ,  王月飞 ,  宋东宇

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58

Abstract: 热氧化Zn3N2：III族元素制备p‑型氧化锌的方法，涉及一种制备p‑型氧化锌的方法。本发明是为了解决现有的p‑型氧化锌掺杂时存在自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的技术问题。本发明：一、清洗衬底；二、磁控溅射沉积制备Zn3N2：III族元素薄膜：三、热氧化Zn3N2：III族元素薄膜。本发明通过氧化Zn3N2：III族元素的方法得到了p‑型氧化锌，并且在800℃下退火仍然保持p‑型，甚至在900℃高温下，氧化锌的导电特性仍为p‑型导电，提高了p‑型氧化锌的热稳定性。

公开(公告)号：CN105349953A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201510658463.1

申请日：2015-10-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李丽 ,  李炳生 ,  王月飞 ,  宋东宇

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/5806 ,  C23C14/5853

Abstract: 热氧化Zn3N2：III族元素制备p-型氧化锌的方法，涉及一种制备p-型氧化锌的方法。本发明是为了解决现有的p-型氧化锌掺杂时存在自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的技术问题。本发明：一、清洗衬底；二、磁控溅射沉积制备Zn3N2：III族元素薄膜：三、热氧化Zn3N2：III族元素薄膜。本发明通过氧化Zn3N2：III族元素的方法得到了p-型氧化锌，并且在800℃下退火仍然保持p-型，甚至在900℃高温下，氧化锌的导电特性仍为p-型导电，提高了p-型氧化锌的热稳定性。