基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置

    公开(公告)号:CN103137217A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201310040400.0

    申请日:2013-02-02

    Abstract: 基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置,它涉及的是位移精密调节的技术领域。它是为了解决现有大多数实现宏微两级位移精确调整的位移台都是通过两个一维位移调整装置组合在一起实现精确位移调整,而存在增加了位移台的体积和承载能力小、应用环境比较严格,很难应用在对空间尺寸要求严格、承载力大、应用条件差的场合。调整旋钮左侧的外圆面镶嵌在轴承的内套中,壳体的右端设置有锁紧螺钉,谐波齿轮减速器的低速轴输出端设置在调整旋钮的左侧,谐波齿轮减速器的高速轴输入端设置在调整旋钮的右侧。本发明的宏微两级位移调整位于同一轴线,解决了常见宏微两级位移调整装置带来的结构复杂、体积大、制造成本高的问题。

    平面型精密二维微位移台

    公开(公告)号:CN102969030A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201210505677.1

    申请日:2012-12-03

    Abstract: 本发明提供了一种平面型精密二维微位移台,属于超精密加工技术以及光电技术领域。本发明所述滑架水平方向的四个面每一个面上设有两个平行的光轴,X向的光轴设置在顶板上面的通孔内,光轴与顶板上通孔的孔壁之间设有直线导套,Y向的光轴设置在底座上面的通孔内,光轴与底座上的通孔的孔壁之间设有直线导套,在底座一侧的X向的中间位置安装有高精度测微头,顶板一侧的Y向的中间位置安装有高精度测微头。由于本发明的滑架使得X-Y向调整在同一平面内实现,减小了二维微位移调整装置的高度,简化了二维微位移调整装置的结构,增加了承受载荷,节省了制造成本。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀,光电仪器的精密调整。

    基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置

    公开(公告)号:CN103128587A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201310100661.7

    申请日:2013-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置,超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动来获得其运动和力矩的,将材料的微观变形通过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子的宏观运动,具有低速大力矩输出、功率密度高、起停控制性好、可实现直接驱动和精确定位,超声电机与滚珠丝杠组合在一起,解决了常见的刀具位移进给中进给精度与大行程进给不能同时兼顾问题。本发明中进给采用高精度回转式超声电机与THK导程为2mm的精密滚珠丝杠,检测采用雷尼绍分辨率为5nm高精度测微头与变形系数小的铟钢光栅尺,在导向方面采用THK的直线滚珠导套与光轴保证刀具的直线进给,实现行程为150mm的高精度大行程刀具进给。

    基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置

    公开(公告)号:CN103137217B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201310040400.0

    申请日:2013-02-02

    Abstract: 基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置,它涉及的是位移精密调节的技术领域。它是为了解决现有大多数实现宏微两级位移精确调整的位移台都是通过两个一维位移调整装置组合在一起实现精确位移调整,而存在增加了位移台的体积和承载能力小、应用环境比较严格,很难应用在对空间尺寸要求严格、承载力大、应用条件差的场合。调整旋钮左侧的外圆面镶嵌在轴承的内套中,壳体的右端设置有锁紧螺钉,谐波齿轮减速器的低速轴输出端设置在调整旋钮的左侧,谐波齿轮减速器的高速轴输入端设置在调整旋钮的右侧。本发明的宏微两级位移调整位于同一轴线,解决了常见宏微两级位移调整装置带来的结构复杂、体积大、制造成本高的问题。

    基于超声电机实现150mm高精度大行程刀具微动进给及检测装置

    公开(公告)号:CN103128587B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201310100661.7

    申请日:2013-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种基于超声电机的超精密大行程刀具微动进给装置,超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动来获得其运动和力矩的,将材料的微观变形通过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子的宏观运动,具有低速大力矩输出、功率密度高、起停控制性好、可实现直接驱动和精确定位,超声电机与滚珠丝杠组合在一起,解决了常见的刀具位移进给中进给精度与大行程进给不能同时兼顾问题。本发明中进给采用高精度回转式超声电机与THK导程为2mm的精密滚珠丝杠,检测采用雷尼绍分辨率为5nm高精度测微头与变形系数小的铟钢光栅尺,在导向方面采用THK的直线滚珠导套与光轴保证刀具的直线进给,实现行程为150mm的高精度大行程刀具进给。

    平面型精密二维微位移台

    公开(公告)号:CN102969030B

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201210505677.1

    申请日:2012-12-03

    Abstract: 本发明提供了一种平面型精密二维微位移台,属于超精密加工技术以及光电技术领域。本发明所述滑架竖直方向的四个面每一个面上设有两个平行的光轴,X向的光轴设置在顶板上面的通孔内,光轴与顶板上通孔的孔壁之间设有直线导套,Y向的光轴设置在底座上面的通孔内,光轴与底座上的通孔的孔壁之间设有直线导套,在底座一侧的X向的中间位置安装有高精度测微头,顶板一侧的Y向的中间位置安装有高精度测微头。由于本发明的滑架使得X-Y向调整在同一平面内实现,减小了二维微位移调整装置的高度,简化了二维微位移调整装置的结构,增加了承受载荷,节省了制造成本。本发明主要用于超精密加工中的精确对刀,光电仪器的精密调整。

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