公开(公告)号：CN118091349B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202311854187.7

申请日：2023-12-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈岑 ,  王浩东 ,  于德润 ,  张博亚 ,  李小宛孺 ,  王辰一 ,  张东 ,  王明阳 ,  翟国富

IPC: G01R31/26 ,  G01R31/01 ,  G01R1/04 ,  G05D3/20

Abstract: 一种用于退化试验的功率半导体器件批量测试装置，涉及功率半导体器件测试技术领域。运动单元采用三轴运动模组并设置承载平台，控制单元包括PLC控制器以及交流伺服驱动器，测试单元包括分析仪及与其测试端连接并引向外部的测试探针，测试探针随三轴运动模组位移以改变位置，PLC控制程序控制三轴运动模组的动作，上位机程序连接分析仪实现功率半导体器件的性能参数测试，同时连接PLC控制程序发送控制指令，上位机程序中电压/电流扫描范围、测试步长和扫描范围偏差的计算具有自适应能力。能够完成批量功率半导体器件的参数测试工作，自动化程度高。

公开(公告)号：CN118091349A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202311854187.7

申请日：2023-12-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈岑 ,  王浩东 ,  于德润 ,  张博亚 ,  李小宛孺 ,  王辰一 ,  张东 ,  王明阳 ,  翟国富

IPC: G01R31/26 ,  G01R31/01 ,  G01R1/04 ,  G05D3/20

Abstract: 一种用于退化试验的功率半导体器件批量测试装置，涉及功率半导体器件测试技术领域。运动单元采用三轴运动模组并设置承载平台，控制单元包括PLC控制器以及交流伺服驱动器，测试单元包括分析仪及与其测试端连接并引向外部的测试探针，测试探针随三轴运动模组位移以改变位置，PLC控制程序控制三轴运动模组的动作，上位机程序连接分析仪实现功率半导体器件的性能参数测试，同时连接PLC控制程序发送控制指令，上位机程序中电压/电流扫描范围、测试步长和扫描范围偏差的计算具有自适应能力。能够完成批量功率半导体器件的参数测试工作，自动化程度高。