一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法

    公开(公告)号:CN105255368A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201510644733.3

    申请日:2015-10-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法,特别适用于古典法抛光超光滑表面用氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的制备,具体步骤为:将抛光粉与适量纯水放入洁净容器中混合;用磁力搅拌器搅拌溶液5~10分钟并使用频率40kHz超声波超声5~10分钟后静置2~4分钟;将容器内上半部分近1/2体积溶液倒出;在倒出的溶液中加入等量纯水,再用磁力搅拌器搅拌溶液5~10分钟、超声5~10分钟、静置2~4分钟后,将容器内上半部分近1/2体积的溶液倒出,得到微粒粒径分布均匀的抛光液。该方法筛选的抛光液粒径更小,粒度分布更均匀,有效防止微米级抛光粉微粒团聚,用于超光滑表面抛光不容易产生划痕,是超光滑表面抛光工艺中的关键技术。

    基于在线与离线检测的自由曲面棱镜高精度补偿加工方法

    公开(公告)号:CN117124483A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202310857737.4

    申请日:2023-07-13

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了基于在线与离线检测的自由曲面棱镜高精度补偿加工方法,属于光学器件制造及超精密加工技术领域,包括通过光学探针系统在线检测并加工自由曲面棱镜毛坯的各个平面,采用测角仪和三坐标测量系统离线检测自由曲面棱镜的角度、位置度和面形误差,由实测数据构建棱镜模型并补偿加工出初始面,最后再通过光学探针系统在线检测并补偿加工曲面面形。本发明通过上述结构,解决了加工中的自由曲面棱镜各面之间的角度误差、位置误差和面形误差难以量化测量,导致自由曲面棱镜加工质量与实际理论值偏差较大、成像质量较低的问题。

    基于两步在线检测和补偿技术的自由曲面加工方法和装置

    公开(公告)号:CN107824813B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201711078560.9

    申请日:2017-11-06

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于两步在线检测和补偿技术的自由曲面加工方法及装置,所述方法包括:按设计路径对加工工件进行初始加工,获得设计自由曲面;同步检测所述设计自由曲面的面形误差和旋转方位角度;基于所述面形误差和旋转方位角度对所述设计路径进行修正,获得一次修正加工路径;基于所述一次修正加工路径对所述设计自由曲面进行一次补偿加工,获得一次补偿自由曲面;对所述一次补偿自由曲面进行过中心点的径向检测;基于径向检测数据对所述一次修正加工路径进行修正,获得二次修正加工路径;基于所述二次修正加工路径对所述一次补偿自由曲面进行二次补偿加工。与现有技术相比,本发明具有检测精度高、补偿精度高等优点。

    一种嵌套式类Wolter-I型望远镜性能评价方法

    公开(公告)号:CN108036927B

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201711145347.5

    申请日:2017-11-17

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种嵌套式类Wolter‑I型望远镜性能评价方法,该方法基于三维光线追迹方法,利用在线测量得到望远镜装配后锥面镜片的三维图像,将镜片面形误差叠加到理想曲面上获得重构曲面;定义追迹光线;利用牛顿迭代法和双三次样条插值法精确的定位光线与重构曲面交点的位置;由包含追迹光线与重构曲面交点的法向量确定出射光线方向;最后通过光线追迹结果计算出光学系统的性能参数,由此对系统光学性能做出评价。与现有技术相比,本发明可高效和精确地评价装配后镜片面形误差对类Wolter‑I型望远镜光学系统性能的影响,该评价结果对系统的装配以及镜片加工工艺起到指导作用。

    一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法

    公开(公告)号:CN105176406A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510644692.8

    申请日:2015-10-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法,特别适用于超光滑表面古典法抛光用的微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选,具体步骤为:将抛光粉和高纯去离子水放入洁净容器中,通入洁净气体混合5~8分钟后静置3~5分钟,抛光粉颗粒在重力、浮力和液体阻力的共同作用下出现分层现象,利用虹吸管将上层1/2~2/3体积的溶液吸出;在吸出的溶液中加入等量水后再通入气体混合5~8分钟后静置3~5分钟,利用虹吸管吸出上层1/3~1/2体积的溶液,得到微粒粒径分布均匀的抛光液。该方法筛选的溶液粒径更小,粒度分布更均匀,用于超光滑表面抛光,不容易产生划痕,是超光滑表面抛光工艺中的关键技术。

    一种光纤传输的非绝热近场光学诱导化学刻蚀方法

    公开(公告)号:CN103160830A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201310066796.6

    申请日:2013-03-04

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种光纤传输的非绝热近场光学诱导化学刻蚀方法,该方法属于光学器件制作领域,主要针对常规的超精密光学器件制作技术要么是加工效率不高,要么是其表面粗糙度控制的不够低,难以进一步降低表面粗糙度获得无缺陷的超光滑表面。光纤传输的非绝热近场光学诱导化学刻蚀方法是基于激光作用下的选择性化学反应,去除表面的纳米凸起、凹坑和划痕等表面微缺陷,与此同时在粗糙结构消失时光化学反应自动停止,从而获得超光滑表面。此方法不仅大大的降低了光学器件表面的粗糙度,而且具有针对性强、简单易行的特点。

    基于两步在线检测和补偿技术的自由曲面加工方法和装置

    公开(公告)号:CN107824813A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201711078560.9

    申请日:2017-11-06

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于两步在线检测和补偿技术的自由曲面加工方法及装置,所述方法包括:按设计路径对加工工件进行初始加工,获得设计自由曲面;同步检测所述设计自由曲面的面形误差和旋转方位角度;基于所述面形误差和旋转方位角度对所述设计路径进行修正,获得一次修正加工路径;基于所述一次修正加工路径对所述设计自由曲面进行一次补偿加工,获得一次补偿自由曲面;对所述一次补偿自由曲面进行过中心点的径向检测;基于径向检测数据对所述一次修正加工路径进行修正,获得二次修正加工路径;基于所述二次修正加工路径对所述一次补偿自由曲面进行二次补偿加工。与现有技术相比,本发明具有检测精度高、补偿精度高等优点。

    一种光学元件精密抛光后的清洗方法

    公开(公告)号:CN105251745A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201510644365.2

    申请日:2015-10-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种光学元件精密抛光后的清洗方法,特别适用于古典法抛光拼盘加工K9玻璃和熔融石英元件的清洗。具体步骤为:将下盘后的光学元件在汽油中浸泡30分钟以上,在四氯化碳中浸泡2小时后在40kHz、120kHz的超声频率下先后超声4~10分钟后,用35~45℃去离子水冲洗30~45秒;用乙醇溶液超声波清洗4~10分钟后用35~45℃去离子水冲洗30~45秒;最后用纯水超声清洗4~10分钟;干燥后即得所需产品。本发明综合浸泡和超声清洗方法,采用有机溶剂、无机溶剂和去离子水作为媒介,对精密抛光后的元件表面有机污染物和抛物粉残留颗粒有较高清洗效率,清洗过程不涉及酸性、碱性溶液,对元件表面不造成化学和物理损伤,提高紫外激光辐照下的损伤阈值。

    一种应用于双轴研抛机的夹持工具

    公开(公告)号:CN103121190A

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:CN201310024139.5

    申请日:2013-01-22

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种应用于双轴研抛机的夹持工具,包括开设有圆孔的中央套筒,圆孔内设置紧固C型黄铜圈,对称设置在中央套筒的两侧的半圆弧形支架,支架上开设有带螺纹的丝孔以及接在半圆弧形支架上的轴承部件。与现有技术相比,本发明在研磨或抛光盘上可以在研磨或抛光的时候,样品盘在转动前进的同时,还可以推动修整盘旋转前进,达到边修边抛的效果。本发明结构简单,通过不锈钢器件实现。与现有工具相比能大大提高在普通摆轴式抛光机上的研磨抛光效果,可操作性强,可靠行高,对应用环境没有额外的要求,非常适合实验室高精度研磨抛光需求和规模化生产的改造。

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