DBC基板的制造方法及使用该方法制造的DBC基板

    公开(公告)号:CN107369625A

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:CN201710528905.X

    申请日:2017-07-01

    IPC分类号: H01L21/48 H01L23/498

    摘要: 本发明公开了一种DBC基板的制造方法,该方法包括:(1)将第一铜片和第二铜片表面清洗,使用碱性溶液除油,再用酸性溶液除去表面氧化层;(2)所述陶瓷基材表面使用碱性溶液清洗;(3)对第一铜片和第二铜片进行氧化处理并形成氧化层;(4)将第一铜片、第二铜片与陶瓷基材贴合并放置在承烧板后同时对第一铜片、第二铜片和陶瓷基材进行烧结处理。这种制造方法适用于特殊规格的DBC基板制造,特别是陶瓷基材的厚度≤0.38毫米、铜片厚度≥0.4毫米的组合,这种制造方法能有效避免常规制造过程中陶瓷碎裂的问题,提高DBC基板的制造率,降低双面分开烧结时不匹配应力造成的局部大泡、表面融化、铜面晶粒增大等问题,提高产品性能,同时节约工艺成本。

    一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉

    公开(公告)号:CN113606935B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202110871999.7

    申请日:2021-07-30

    摘要: 本发明陶瓷覆铜板技术领域,公开了一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉,包括:炉体,包括分别设置在炉体两端的进料口和出料口,进料口和出料口处设置有密封气帘;传送带,用于输送铜片,由进料口到出料口贯穿炉体;多个热电偶,正对传送带安装在炉体内,且沿传送带输送方向依次排布;供氧管道;多个弥散气盒,沿传送带输送方向在炉体内排布,分别与供氧管道连通且在连通处设置有用于控制炉体内气体浓度、流速、流向的气阀;测温热电偶和测氧仪,设置在弥散气盒靠近传送带的一侧;保证了铜片氧化环境的稳定,使铜片表面氧化膜厚度均一。

    一种蚀刻制备高可靠陶瓷覆铜的方法

    公开(公告)号:CN112638046A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011564291.9

    申请日:2020-12-25

    IPC分类号: H05K3/02 H05K3/06 H05K3/12

    摘要: 本发明公开了一种蚀刻制备高可靠陶瓷覆铜的方法,包括以下步骤:S1:在清洗去除氧化物、油污后的陶瓷覆铜板上滚压上干膜;S2:将压上干膜的陶瓷覆铜板使用曝光资料进行LDI曝光或用菲林进行UV曝光,所使用曝光资料或菲林相比实际线宽宽0.1~0.3mm;S3:对完成曝光的陶瓷覆铜板进行显影、蚀刻、退膜、水洗、烘干制备线路,陶瓷覆铜板可一次性也可分步依次经过显影缸,蚀刻缸,退膜缸,水洗缸及烘干箱,速度为0.3~1.5m/min;S4:对制备好线路的陶瓷覆铜板图形区域印制油墨,油墨图形线宽小于产品线宽0.5~2mm;S5:印制好油墨的陶瓷覆铜板烘干后UV全板曝光;S6:对S5步骤完成曝光的陶瓷覆铜板再次蚀刻,依次经蚀刻、退膜、水洗、烘干工序,过程采用水平蚀刻线,速度均为1~4m/min。

    一种蚀刻制备高可靠陶瓷覆铜的方法

    公开(公告)号:CN112638046B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202011564291.9

    申请日:2020-12-25

    IPC分类号: H05K3/02 H05K3/06 H05K3/12

    摘要: 本发明公开了一种蚀刻制备高可靠陶瓷覆铜的方法,包括以下步骤:S1:在清洗去除氧化物、油污后的陶瓷覆铜板上滚压上干膜;S2:将压上干膜的陶瓷覆铜板使用曝光资料进行LDI曝光或用菲林进行UV曝光,所使用曝光资料或菲林相比实际线宽宽0.1~0.3mm;S3:对完成曝光的陶瓷覆铜板进行显影、蚀刻、退膜、水洗、烘干制备线路,陶瓷覆铜板可一次性也可分步依次经过显影缸,蚀刻缸,退膜缸,水洗缸及烘干箱,速度为0.3~1.5m/min;S4:对制备好线路的陶瓷覆铜板图形区域印制油墨,油墨图形线宽小于产品线宽0.5~2mm;S5:印制好油墨的陶瓷覆铜板烘干后UV全板曝光;S6:对S5步骤完成曝光的陶瓷覆铜板再次蚀刻,依次经蚀刻、退膜、水洗、烘干工序,过程采用水平蚀刻线,速度均为1~4m/min。

    一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉

    公开(公告)号:CN113606935A

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN202110871999.7

    申请日:2021-07-30

    摘要: 本发明陶瓷覆铜板技术领域,公开了一种提高铜片氧化层均匀性的氧化炉,包括:炉体,包括分别设置在炉体两端的进料口和出料口,进料口和出料口处设置有密封气帘;传送带,用于输送铜片,由进料口到出料口贯穿炉体;多个热电偶,正对传送带安装在炉体内,且沿传送带输送方向依次排布;供氧管道;多个弥散气盒,沿传送带输送方向在炉体内排布,分别与供氧管道连通且在连通处设置有用于控制炉体内气体浓度、流速、流向的气阀;测温热电偶和测氧仪,设置在弥散气盒靠近传送带的一侧;保证了铜片氧化环境的稳定,使铜片表面氧化膜厚度均一。