公开(公告)号：CN111125985A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911051432.4

申请日：2019-10-31

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈鹏任 ,  郑文豪 ,  陈俊宏 ,  陈健辉

IPC: G06F30/392

Abstract: 提供系统故障定位系统和方法，该方法利用计算GDS辅助导航来加速物理故障分析以识别系统故障位置和图案。在一些实施例中，一种方法包括检测半导体晶圆的多个管芯的多个电故障区域。生成与多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统(GDS)跨层剪辑。基于分解的GDS跨层剪辑识别多个跨层公共图案。可以针对每个跨层公共图案确定归一化差分，并且可以基于确定的归一化差分来识别每个管芯中的热点的位置。

公开(公告)号：CN111125985B

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN201911051432.4

申请日：2019-10-31

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈鹏任 ,  郑文豪 ,  陈俊宏 ,  陈健辉

IPC: G06F30/392

Abstract: 提供系统故障定位系统和方法，该方法利用计算GDS辅助导航来加速物理故障分析以识别系统故障位置和图案。在一些实施例中，一种方法包括检测半导体晶圆的多个管芯的多个电故障区域。生成与多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统(GDS)跨层剪辑。基于分解的GDS跨层剪辑识别多个跨层公共图案。可以针对每个跨层公共图案确定归一化差分，并且可以基于确定的归一化差分来识别每个管芯中的热点的位置。