公开(公告)号：CN110957240B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN201910911362.9

申请日：2019-09-25

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王毅霖 ,  吴荣堂 ,  李锦思 ,  邱华盛

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G01C9/00

Abstract: 本公开涉及一种感应器、装载端及水平方法，该装载端包括一电平感应器一、以及使用一装载端使装载端水平。在一个实施例中，一种感应器包括：一加速度计、多个指示灯、一处理器及一有线连接。加速度计配置以检测一装载端的电平及振动，并产生多个数据。指示灯配置以基于装载端的电平显示一水平测量及一水平方向。处理器配置以处理由加速度计所产生的数据。有线连接配置以将处理器连接至一外部装置。

公开(公告)号：CN110957240A

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201910911362.9

申请日：2019-09-25

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王毅霖 ,  吴荣堂 ,  李锦思 ,  邱华盛

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G01C9/00

Abstract: 本公开涉及一种感应器、装载端及水平方法，该装载端包括一电平感应器一、以及使用一装载端使装载端水平。在一个实施例中，一种感应器包括：一加速度计、多个指示灯、一处理器及一有线连接。加速度计配置以检测一装载端的电平及振动，并产生多个数据。指示灯配置以基于装载端的电平显示一水平测量及一水平方向。处理器配置以处理由加速度计所产生的数据。有线连接配置以将处理器连接至一外部装置。