公开(公告)号：CN103426930B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201310192704.9

申请日：2013-05-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 刘怡劭 ,  拉希德.巴希尔 ,  赖飞龙 ,  郑钧文

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/49 ,  H01L21/336 ,  G01N27/414

CPC classification number: G01N27/4145

Abstract: 本发明提供了一种生物场效应晶体管(BioFET)和制造BioFET器件的方法。该方法包括使用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的或者是典型的CMOS工艺的一个或多个工艺步骤形成BioFET。该BioFET器件可以包括衬底；设置在衬底的第一表面上的栅极结构和在衬底的第二表面上形成的界面层。界面层可以允许受体被放置在界面层上以检测存在的生物分子或生物实体。BioFET器件的放大因数可以由与第一表面上的栅极结构相关的电容和与第二表面上形成的界面层相关的电容的差值提供。本发明还提供了一种用于信号放大的具有双栅极生物场效应晶体管的系统和方法。