公开(公告)号：CN113264330A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202110126700.5

申请日：2021-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李彦乐 ,  陈彦羽 ,  陈韦志 ,  廖泰翔 ,  詹凯评

IPC: B65G35/00 ,  B65G43/00 ,  H01L21/677

Abstract: 描述了一种与自动物料搬运系统关联的架空运输车辆(overhead transportvehicle)与运输紧急产品的方法。架空运输车辆为自动物料搬运系统提供特征，当控制自动物料搬运系统中交通的逻辑算法由于意外问题而无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒(FOUP)自一个工具传输至后续工具时，自动物料搬运系统能够通过这些特征减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的次数。在此描述了架空运输车辆上的帮助晶圆厂操作员发现有问题产品的指示器。亦描述了在主电源故障的情况下使用的架空运输车辆上的备用电源。

公开(公告)号：CN113264330B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN202110126700.5

申请日：2021-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李彦乐 ,  陈彦羽 ,  陈韦志 ,  廖泰翔 ,  詹凯评

IPC: B65G35/00 ,  B65G43/00 ,  H01L21/677

Abstract: 描述了一种与自动物料搬运系统关联的架空运输车辆(overhead transportvehicle)与运输紧急产品的方法。架空运输车辆为自动物料搬运系统提供特征，当控制自动物料搬运系统中交通的逻辑算法由于意外问题而无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒(FOUP)自一个工具传输至后续工具时，自动物料搬运系统能够通过这些特征减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的次数。在此描述了架空运输车辆上的帮助晶圆厂操作员发现有问题产品的指示器。亦描述了在主电源故障的情况下使用的架空运输车辆上的备用电源。