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公开(公告)号：CN101387870B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200710128761.5
申请日：2007-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/04 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41865 , G05B2219/31325 , G05B2219/45031 , G06Q10/0631 , G06Q10/06311 , G06Q10/06312 , G06Q10/06313 , Y02P90/14 , Y02P90/20
Abstract: 本发明揭示了改善晶片合格率的方法及其系统，以达到较佳的缺陷密度及提高产品合格率的目的。为求增强的绝佳工具选择及发送，本发明提供一种绝佳工具选择及发送系统，用以整合不同部件。该绝佳工具选择系统是依据制造工具的一集合效能来选择绝佳工具的一集合，并且提供一全自动化操作环境，以使用该绝佳工具的集合生产一晶片。
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公开(公告)号：CN101067742B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200610149890.8
申请日：2006-10-31
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G06F19/00 , G05B13/02 , G05B19/048
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/32193 , G05B2219/45031 , Y02P90/22
Abstract: 本发明提供一种量测方法以及虚拟量测系统，特别涉及一种适用于半导体制造的虚拟量测系统与方法。接收程序数据与量测数据。根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。适用于制造厂的虚拟量测系统包括用以接收程序数据的错误侦测与分类系统，以及统计程序控制系统，用以对历史的实体量测数据执行统计程序控制而产生量测数据，且虚拟量测应用系统是用以根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。本发明所提供的量测方法以及虚拟量测系统，可透过降低实际程序或工具监控数据而改善产品制造的周期时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101387870A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200710128761.5
申请日：2007-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/04 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41865 , G05B2219/31325 , G05B2219/45031 , G06Q10/0631 , G06Q10/06311 , G06Q10/06312 , G06Q10/06313 , Y02P90/14 , Y02P90/20
Abstract: 本发明揭示了改善产品合格率的方法、程序及其系统，以达到较佳的缺陷密度及提高产品合格率的目的。为求增强的绝佳工具选择及发送，本发明提供一种绝佳工具选择及发送系统，用以整合不同部件。该绝佳工具选择系统是依据制造工具的一集合效能来选择绝佳工具的一集合，并且提供一全自动化操作环境，以使用该绝佳工具的集合生产一产品。
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公开(公告)号：CN101067742A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200610149890.8
申请日：2006-10-31
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B13/02 , G05B19/048
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/32193 , G05B2219/45031 , Y02P90/22
Abstract: 本发明提供一种量测方法以及虚拟量测系统，特别涉及一种适用于半导体制造的虚拟量测系统与方法。接收程序数据与量测数据。根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。适用于制造厂的虚拟量测系统包括用以接收程序数据的错误侦测与分类系统，以及统计程序控制系统，用以对历史的实体量测数据执行统计程序控制而产生量测数据，且虚拟量测应用系统是用以根据程序数据与量测数据透过学习控制模型而产生预测数据。本发明所提供的量测方法以及虚拟量测系统，可透过降低实际程序或工具监控数据而改善产品制造的周期时间。
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公开(公告)号：CN100498617C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710005175.1
申请日：2007-02-15
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G06Q10/06 , G06Q20/203 , G06Q20/401 , Y10S707/99932
Abstract: 一种计算机系统与处理方法，该计算机系统包括剖析器、比较器以及自动校正模块。剖析器用以接收具有详细处理工具执行数据的记录文件，并且产生具有部分以已知格式所设置的详细处理工具执行数据的操作记录。比较器用以接收自动化物料追踪数据，并且与操作记录数据进行比较。自动校正模块用以当自动化物料追踪数据与操作记录数据不一致时，自动地校正自动化物料追踪数据。通过本发明的计算机系统和处理方法对数据执行校正与更新，从而导致产量的增加、较少的废料并且降低生产周期。
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公开(公告)号：CN101042754A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710091807.0
申请日：2007-03-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G06Q10/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种产品配送排程方法、提供系统与应用于计算机的排程系统，在不需要人为操作的情况下自动且精确地提供产品配送时间的方法与系统。该方法与系统接收配送时间，并根据多个统计过程控制标准来监控至少一个制造程序的性能，以产生特定晶片产品，当违反统计过程控制标准时会自动修正特定晶片产品的优先权顺序。借由使用统计过程控制方法与标准来监控晶片的制造性能便可以自动修正晶片的优先权顺序，以确保准时配送。
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公开(公告)号：CN101034289A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710005175.1
申请日：2007-02-15
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G06Q10/06 , G06Q20/203 , G06Q20/401 , Y10S707/99932
Abstract: 一种计算机系统与处理方法，该计算机系统包括剖析器、比较器以及自动校正模块。剖析器用以接收具有详细处理工具执行数据的记录文件，并且产生具有部分以已知格式所设置的详细处理工具执行数据的操作记录。比较器用以接收自动化物料追踪数据，并且与操作记录数据进行比较。自动校正模块用以当自动化物料追踪数据与操作记录数据不一致时，自动地校正自动化物料追踪数据。通过本发明的计算机系统和处理方法对数据执行校正与更新，从而导致产量的增加、较少的废料并且降低生产周期。
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