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公开(公告)号:CN108963092A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201810186373.0
申请日:2018-03-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种LED器件及其制造方法,该LED器件为肖特基势垒的LED器件,二维材料作为势垒绝缘层,掺杂的二维半导体材料为有源层,这样,使得载流子可以在二维半导体材料的有源层发光,以此可以获得一种二维超薄柔性的LED器件,有助于提高器件的散热性、透光率以及使用寿命,提高LED器件的性能。
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公开(公告)号:CN106876580A
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201710154030.1
申请日:2017-03-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法,涉及纳米发电机。提供灵活性强,可操作性简单,容易集成耐磨材料,可用于衣服和鞋子,成功将身体的日常运动的机械能转化为电能,为智能服饰的开发和应用提供前提条件的一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法。在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列,得ZnO/h‑BN/金属复合结构;在ZnO/h‑BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列,得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜;去除金属衬底,获得埋藏氧化锌纳米柱阵列的透明PDMS薄膜结构;在PDMS/ZnO薄膜结构连帽压印上金属纳米线网络,退火得纳米焊接网络,做透明电极;连接上下电极至载体,即完发电机的制备。
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公开(公告)号:CN108963092B
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201810186373.0
申请日:2018-03-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种LED器件及其制造方法,该LED器件为肖特基势垒的LED器件,二维材料作为势垒绝缘层,掺杂的二维半导体材料为有源层,这样,使得载流子可以在二维半导体材料的有源层发光,以此可以获得一种二维超薄柔性的LED器件,有助于提高器件的散热性、透光率以及使用寿命,提高LED器件的性能。
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公开(公告)号:CN106876580B
公开(公告)日:2019-02-26
申请号:CN201710154030.1
申请日:2017-03-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法,涉及纳米发电机。提供灵活性强,可操作性简单,容易集成耐磨材料,可用于衣服和鞋子,成功将身体的日常运动的机械能转化为电能,为智能服饰的开发和应用提供前提条件的一种透明柔性的压电式纳米发电机的制备方法。在金属衬底直接生长整齐的氧化锌纳米柱阵列,得ZnO/h‑BN/金属复合结构;在ZnO/h‑BN/金属复合结构上旋涂PDMS透明硅胶填充纳米柱阵列,得弹性的氧化锌纳米柱阵列薄膜;去除金属衬底,获得埋藏氧化锌纳米柱阵列的透明PDMS薄膜结构;在PDMS/ZnO薄膜结构连帽压印上金属纳米线网络,退火得纳米焊接网络,做透明电极;连接上下电极至载体,即完发电机的制备。
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公开(公告)号:CN106835265A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710154036.9
申请日:2017-03-15
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: C30B23/06 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C23C16/342 , C30B29/66
Abstract: 一种衬底上直接生长氧化锌纳米柱阵列的方法,涉及氧化锌纳米柱阵列的生长方法。提供制备氧化锌的工艺更加简易和广泛化的一种衬底上直接生长氧化锌纳米柱阵列的方法。通过CVD在衬底表面生长单原子层氮化硼薄膜;采用PMMA辅助法,将氮化硼薄膜转移覆盖于目标衬底表面;去除PMMA保护膜;将覆盖氮化硼薄膜的金属衬底置入反应腔,利用氧化锌纳米柱生长方法,直接生长整齐纳米柱阵列。不仅克服现有氧化锌纳米柱阵列生长过程中衬底选择的局限性,而且成功生长出品质优良的氧化锌纳米柱阵列,使氧化锌纳米柱阵列的制备和应用更趋于简易化和广泛化,可在柔性衬底上直接生长,更有利于在微电子器件上的应用。
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公开(公告)号:CN106835265B
公开(公告)日:2019-01-01
申请号:CN201710154036.9
申请日:2017-03-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种衬底上直接生长氧化锌纳米柱阵列的方法,涉及氧化锌纳米柱阵列的生长方法。提供制备氧化锌的工艺更加简易和广泛化的一种衬底上直接生长氧化锌纳米柱阵列的方法。通过CVD在衬底表面生长单原子层氮化硼薄膜;采用PMMA辅助法,将氮化硼薄膜转移覆盖于目标衬底表面;去除PMMA保护膜;将覆盖氮化硼薄膜的金属衬底置入反应腔,利用氧化锌纳米柱生长方法,直接生长整齐纳米柱阵列。不仅克服现有氧化锌纳米柱阵列生长过程中衬底选择的局限性,而且成功生长出品质优良的氧化锌纳米柱阵列,使氧化锌纳米柱阵列的制备和应用更趋于简易化和广泛化,可在柔性衬底上直接生长,更有利于在微电子器件上的应用。
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公开(公告)号:CN108559973A
公开(公告)日:2018-09-21
申请号:CN201711485913.7
申请日:2017-12-29
Applicant: 厦门大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/34 , H01L21/205 , H01L21/02
CPC classification number: C23C16/44 , C23C16/342 , H01L21/0254 , H01L21/0262 , H01L21/205
Abstract: 一种二维六方氮化硼薄膜掺杂获得p型电导的方法,涉及半导体薄膜p型电导。设置三温区双管路化学气相沉积系统;第一温区第一管路放置BN前驱物,第二温区第二管路放置Mg源前驱物,第三温区放置反应衬底;生长阶段开始前先将真空度控制至低于10-4torr;氢气和氩气的氛围中对衬底进行800~1000℃退火处理;三温区分别加温至设置温度,第一温区为低温区,温度70~100℃;第二温区为中温区,温度400~900℃;第三温区为高温反应区,温度900~1200℃;第一管路和第二管路通载气,携带前驱物和杂质源至反应区混合反应;生长结束,在保护气体中自然冷却到室温,得二维六方氮化硼薄膜掺杂获得p型电导。
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