公开(公告)号：CN110192114B

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201880006205.7

申请日：2018-01-08

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： F·W·奥斯特伯格 ,  A·卡利亚尼 ,  德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01R27/08 ,  G01R27/14

摘要： 本发明涉及一种通过提供多点探针和试样来建立具体电极位置的方法。方法包括以下步骤：测量或确定多点探针的电极中的两个之间的距离；以及建立表示试样的电阻模型。方法还包括以下步骤：执行至少三个不同的薄片电阻测量；以及基于电阻模型对于不同薄片电阻测量中的每一个建立对应的预测薄片电阻。其后，方法包括以下步骤：建立构成预测薄片电阻中的每一个与其对应测量薄片电阻之间的差的一组差；以及通过使用距离并执行数据拟合，导出多点探针在试样的表面上的具体电极位置，该执行通过使构成所述一组差的和的误差函数最小化来进行。

公开(公告)号：CN103380368B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201180068008.6

申请日：2011-12-21

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： F·魏 ,  德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01N27/04 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R31/28 ,  H01L23/544

CPC分类号： G01B7/14 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/2831 ,  H01L22/14 ,  H01L22/34

摘要： 一种通过包括四个接触元件的多点探针来确定试验样品上的第一位置和电气边界(34)之间的距离(Y)的方法，包括：在第一位置用四个接触元件(20，22，24，26)接触试验样品，在第一位置施加磁场，进行第一和第二四点测量并得出第一和第二电阻值，由第一和第二电阻值计算第一电阻差，进行第三和第四四点测量并得出第三和第四电阻差，由第三和第四电阻值计算第二电阻差，定义包括代表第一电阻差、第二电阻差、以及第一位置和电气边界之间的距离的参数的第一

公开(公告)号：CN101657729B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200880011693.7

申请日：2008-03-12

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： 德志·赫约斯·佩特森

IPC分类号： G01R1/067

CPC分类号： G01R1/06794

摘要： 本发明涉及一种用于探测测试样品表面区域电学性能的探针。所述探针位于与所述测试样品相应的特定方向内。所述探针包含确定第一表面的支撑体，可从与第一表面共面的支撑体延伸的多个悬臂(12)。所述多个悬臂(12)可基本上彼此平行地延伸，且所述多个悬臂(12)的每一个包含将相对于测试样品表面的所述探针移动到所述特定方向来接触所述测试样品区域的电导体端部。所述探针还包括从支撑体延伸的接触探测器(14)，使得在进行上述移动时，所述接触探测器(14)先于接触所述测试样品所述表面的多个悬臂(12)的任一个之前接触所述测试样品的所述表面。

公开(公告)号：CN101821638A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200880110546.5

申请日：2008-09-03

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： 德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L22/14 ,  G01R31/2648 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种通过利用多点探针进行多次测量，获得包括非导电区和导电或半导电测试区的试样电性能的方法。该方法如下步骤：提供磁力线垂直穿过测试区的磁场；将探针带入到测试区上的第一位置，探针的导电针头与测试区接触，测定每个针头相对非导电区和测试区之间分界线的位置；测定每个针头之间的距离；选择一个针头作为定位在用来测定试样中电压的导电针头之间的电流源，进行第一测量；移动探针并进行第二次测量；基于第一和第二测量计算测试区的电性能。

公开(公告)号：CN101657729A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880011693.7

申请日：2008-03-12

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： 德志·赫约斯·佩特森

IPC分类号： G01R1/067

CPC分类号： G01R1/06794

摘要： 本发明涉及一种用于探测测试样品表面区域电学性能的探针。所述探针位于与所述测试样品相应的特定方向内。所述探针包含确定第一表面的支撑体，可从与第一表面共面的支撑体延伸的多个悬臂(12)。所述多个悬臂(12)可基本上彼此平行地延伸，且所述多个悬臂(12)的每一个包含将相对于测试样品表面的所述探针移动到所述特定方向来接触所述测试样品区域的电导体端部。所述探针还包括从支撑体延伸的接触探测器(14)，使得在进行上述移动时，所述接触探测器(14)先于接触所述测试样品所述表面的多个悬臂(12)的任一个之前接触所述测试样品的所述表面。

公开(公告)号：CN110192114A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201880006205.7

申请日：2018-01-08

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： F·W·奥斯特伯格 ,  A·卡利亚尼 ,  德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01R27/08 ,  G01R27/14

摘要： 本发明涉及一种通过提供多点探针和试样来建立具体电极位置的方法。方法包括以下步骤：测量或确定多点探针的电极中的两个之间的距离；以及建立表示试样的电阻模型。方法还包括以下步骤：执行至少三个不同的薄片电阻测量；以及基于电阻模型对于不同薄片电阻测量中的每一个建立对应的预测薄片电阻。其后，方法包括以下步骤：建立构成预测薄片电阻中的每一个与其对应测量薄片电阻之间的差的一组差；以及通过使用距离并执行数据拟合，导出多点探针在试样的表面上的具体电极位置，该执行通过使构成所述一组差的和的误差函数最小化来进行。

公开(公告)号：CN101821638B

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN200880110546.5

申请日：2008-09-03

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： 德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L22/14 ,  G01R31/2648 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 一种通过利用多点探针进行多次测量，获得包括非导电区和导电或半导电测试区的试样电性能的方法。该方法如下步骤：提供磁力线垂直穿过测试区的磁场；将探针带入到测试区上的第一位置，探针的导电针头与测试区接触，测定每个针头相对非导电区和测试区之间分界线的位置；测定每个针头之间的距离；选择一个针头作为定位在用来测定试样中电压的导电针头之间的电流源，进行第一测量；移动探针并进行第二次测量；基于第一和第二测量计算测试区的电性能。

公开(公告)号：CN103380368A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201180068008.6

申请日：2011-12-21

申请人： 卡普雷斯股份有限公司

发明人： F·魏 ,  德志·赫约斯·佩特森 ,  奥利·汉森

IPC分类号： G01N27/04 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R31/28 ,  H01L23/544

CPC分类号： G01B7/14 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/2831 ,  H01L22/14 ,  H01L22/34

摘要： 一种通过包括四个接触元件的多点探针来确定试验样品上的第一位置和电气边界(34)之间的距离(Y)的方法，包括：在第一位置用四个接触元件(20，22，24，26)接触试验样品，在第一位置施加磁场，进行第一和第二四点测量并得出第一和第二电阻值，由第一和第二电阻值计算第一电阻差，进行第三和第四四点测量并得出第三和第四电阻差，由第三和第四电阻值计算第二电阻差，定义包括代表第一电阻差、第二电阻差、以及第一位置和电气边界之间的距离的参数的第一关系式，在第一关系式中通过第一和第二电阻差确定该距离。