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公开(公告)号：CN101416117B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200780012528.9
申请日：2007-01-05
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/702 , G02B17/08 , G03F1/62 , G03F7/70058 , G03F7/70233
Abstract: 一种微光刻投影光学系统(1100)包括多个光学元件(1110、1120、1130、1140、1150、1160)，这些元件设置为将具有波长λ的辐射从物平面(103)中的物场成像到像平面(102)中的像场。该多个光学元件(1110、1120、1130、1140、1150、1160)具有位于距物平面大于2.8m的入瞳。穿过该光学系统的辐射路径由具有相对于物平面的法线成3°或更大夹角的主光线表征。这尤其适宜使用相移掩模作为所要成像的物体，尤其适用于EUV波长。
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公开(公告)号：CN101263430B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200680033544.1
申请日：2006-09-12
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B17/0657 , G02B5/08 , G03F7/70233
Abstract: 总体上，本发明的一方面包括一种微光刻投影光学系统(101)，其包括：多个元件(310-360)，其被设置为将来自物平面(103)的光成像到像平面(102)，至少一个所述元件是反射元件，其具有位于光路上的旋转非对称表面。所述旋转非对称表面从旋转对称表面偏离约10nm以上，并且所述光学系统是微光刻投影光学系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102207608B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110158145.0
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化用于校正像差。
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公开(公告)号：CN102169226B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201110158559.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
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公开(公告)号：CN102207608A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110158145.0
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化用于校正像差。
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公开(公告)号：CN102169226A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110158559.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 本发明涉及一种反射折射投影物镜。一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
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公开(公告)号：CN1910494B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200580002499.9
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游；光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，形成在第一和第二中间图像之间，并且形成在第二中间图像和像面之间；所有凹面镜布置成光学远离光瞳面。该系统在适度透镜材料物质消耗的情况下具有非常高的数值孔径。
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