Invention Grant
CN102169226B 反射折射投影物镜
失效 - 权利终止
- Patent Title: 反射折射投影物镜
- Patent Title (English): Catadioptric projection objective
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Application No.: CN201110158559.3Application Date: 2005-01-13
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Publication No.: CN102169226BPublication Date: 2014-04-23
- Inventor: D·谢弗 , W·乌尔里希 , A·多多克 , R·冯比瑙 , H·-J·曼 , A·埃普勒
- Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Applicant Address: 德国上科亨
- Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国上科亨
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 邱军
- Priority: 60/536,248 2004.01.14 US; 60/587,504 2004.07.14 US; 60/591,775 2004.07.27 US; 60/612,823 2004.09.24 US; 60/617,674 2004.10.13 US
- The original application number of the division: 2005800024999 2005.01.13
- Main IPC: G02B17/08
- IPC: G02B17/08 ; G03F7/20
Abstract:
一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
Public/Granted literature
- CN102169226A 反射折射投影物镜 Public/Granted day:2011-08-31
Information query
IPC分类:
| G | 物理 |
| G02 | 光学 |
| G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| G02B17/00 | 有或无折射元件的具有反射面的系统 |
| G02B17/08 | .折反射系统 |
