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公开(公告)号：CN101221279B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710300394.2
申请日：2007-12-04
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B5/0891 , G03F7/70233 , G03F7/70891
Abstract: 一种光学系统具有多个使波长为λ的光从物平面向像平面成像的元件，该多个元件包括在光路上的具有反射表面的多个反射镜元件。多个反射镜元件中的至少一个是光瞳反射镜，其具有设置在或接近光学系统的光瞳表面的位置处的光瞳反射镜表面。剩余反射镜元件中的至少一个是高负荷的反射镜，其具有反射镜表面并被设置在产生所有剩余反射镜的入射角范围的最大值和平均入射角的最大值中的至少一个的位置，其中该剩余反射镜包括除了光瞳反射镜之外的所有反射镜。光瞳反射镜表面由设计为包括不同材料层的多层堆叠的一维渐变涂层的反射涂层形成，该层具有几何层厚度，其根据第一渐变函数在涂层的第一方向上变化且在垂直于第一方向的第二方向上基本恒定。高负荷的反射镜的反射镜表面被涂覆有根据第二渐变函数设计的渐变涂层的反射镜涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102207608B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110158145.0
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化用于校正像差。
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公开(公告)号：CN102169226B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201110158559.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
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公开(公告)号：CN102207608A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110158145.0
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化用于校正像差。
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公开(公告)号：CN102169226A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110158559.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 本发明涉及一种反射折射投影物镜。一种投影物镜，用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；以及第三物镜部分，用于将第二中间图像成像到所述像面上；其中，所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像，并且其中，所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。
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公开(公告)号：CN1910494B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200580002499.9
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游；光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，形成在第一和第二中间图像之间，并且形成在第二中间图像和像面之间；所有凹面镜布置成光学远离光瞳面。该系统在适度透镜材料物质消耗的情况下具有非常高的数值孔径。
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