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公开(公告)号:CN102498062A
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN201080018680.X
申请日:2010-02-10
Applicant: 卡利太阳能有限公司
IPC: C01B33/02
CPC classification number: C01B33/037 , C30B11/00 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B29/06 , C30B35/007
Abstract: 本发明提供一种用于UMG-Si提纯的过程控制方法,其执行熔化UMG-Si的定向固化以形成硅锭。所述锭被分割为多个块,并映射每个硅块的电阻率分布。基于电阻率映射,计算用于去除定向固化过程中浓缩和捕捉在锭中的杂质的剪切线。然后,通过沿着块的计算的剪切线剪切每个块,去除浓缩的杂质。
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公开(公告)号:CN102598272A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201080018681.4
申请日:2010-04-29
Applicant: 卡利太阳能有限公司
IPC: H01L29/06 , H01L21/66 , C01B33/037
CPC classification number: C01B33/037 , C30B11/00 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B29/06 , C30B35/007
Abstract: 本发明提供一种用于确定UMG-Si原料批中的硼和磷浓度的质量控制方法。通过来自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅测试锭。测量所述硅测试锭的自上而下的电阻率。然后,映射所述硅测试锭的电阻率分布。基于所述硅测试锭的所述电阻率分布,计算所述UMG-Si硅原料批的磷和硼浓度。此外,可以在多炉腔晶体生长器中同时生长多个测试锭,其中每个测试锭对应于一个UMG-Si原料批。
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