公开(公告)号：CN105624625B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201610133598.0

申请日：2016-03-09

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 李兴鳌 ,  张巧霞 ,  赵杨华 ,  贾振宏 ,  张杰 ,  秦正飞 ,  楚亮

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  C23C14/08

Abstract: 一种提高ZnO/Ag/ZnO透明导电膜光电性能的方法，在制备ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜过程中，当磁控溅射中间层金属Ag层时，在溅射气体氩气中通入的适量的氧气作为反应气体，所述氧气与氩气的体积比为1:100~3:100；利用氧气对Ag纳米颗粒生长过程中的诱导作用，使得生长在底层ZnO薄膜上的Ag纳米颗粒变得井然有序，有效的改善了Ag层的形貌。实现提高ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜透光性和导电性的目的。本发明采用室温下磁控溅射方法制备ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜具有较好的透光性、导电性和稳定性，可以有效的取代ITO用做有机发光二极管或太阳能电池透明电极。

公开(公告)号：CN105624625A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610133598.0

申请日：2016-03-09

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 李兴鳌 ,  张巧霞 ,  赵杨华 ,  贾振宏 ,  张杰 ,  秦正飞 ,  楚亮

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/086 ,  C23C14/18

Abstract: 一种提高ZnO/Ag/ZnO透明导电膜光电性能的方法，在制备ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜过程中，当磁控溅射中间层金属Ag层时，在溅射气体氩气中通入的适量的氧气作为反应气体，所述氧气与氩气的体积比为1:100~3:100；利用氧气对Ag纳米颗粒生长过程中的诱导作用，使得生长在底层ZnO薄膜上的Ag纳米颗粒变得井然有序，有效的改善了Ag层的形貌。实现提高ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜透光性和导电性的目的。本发明采用室温下磁控溅射方法制备ZnO/Ag/ZnO透明导电多层膜具有较好的透光性、导电性和稳定性，可以有效的取代ITO用做有机发光二极管或太阳能电池透明电极。