一种基于PZT的忆阻器件、其制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN112018236A

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN202010742267.3

    申请日:2020-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于PZT的忆阻器件,设置在衬底上,忆阻器件包括从上至下依次排列的顶电极、阻变层和底电极,且阻变层、底电极与衬底的形状、尺寸一一匹配;阻变层为铁电材料PZT层,顶电极为活性金属层,底电极为惰性金属层;顶电极通过掩膜板的开孔溅射在阻变层的顶部,底电极的顶部、底部分别与介质层、衬底相触接,本发明导电性和稳定性佳,阻态更稳定,具有明显的人脑突触特性,可用于多值存储、类脑系统构建,具有广阔的应用前景。

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