基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法

    公开(公告)号:CN113847882B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202111051232.6

    申请日:2021-09-08

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/16 G01N21/45

    摘要: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法,包括:设置3个大口径光学平晶,初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A,平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C,平晶Ⅲ的工作面为D,平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜;进行六次测量;利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量,利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性,补偿两种因素在测量中的影响;利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项;利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项;得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响,而且能够保证各自面形在所有频率的信息。

    基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法

    公开(公告)号:CN113847882A

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN202111051232.6

    申请日:2021-09-08

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/16 G01N21/45

    摘要: 本发明公开了一种基于重力变形和折射率非均匀性补偿的大口径立式绝对检验方法,包括:设置3个大口径光学平晶,初始状态时平晶Ⅰ的工作面为A,平晶Ⅱ的上表面为B而下表面为C,平晶Ⅲ的工作面为D,平晶Ⅰ作为参考镜、平晶Ⅱ作为中介平晶、平晶Ⅲ作为测试镜;进行六次测量;利用有限元方法得到平晶Ⅱ的重力变形量,利用上述的部分测量组合得到平晶Ⅱ的折射率非均匀性,补偿两种因素在测量中的影响;利用旋转对称函数性质求得面形的旋转对称项;利用误差迭代法求得面形的旋转非对称项;得到平面A、B、C、D各自的绝对面形分布。本发明补偿了大口径光学平晶重力变形和折射率非均匀性对测量的影响,而且能够保证各自面形在所有频率的信息。

    一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法

    公开(公告)号:CN110672216B

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN201910901037.4

    申请日:2019-09-23

    IPC分类号: G01J9/02

    摘要: 本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤:根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置,使光斑透过点衍射板狭缝;根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置;找到光斑中针孔的像,并微调系统位置,将其移动至光斑中心;再次微调系统光轴方向位置,至光斑上出现干涉图样,此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度,且准确度高、装置简单。

    一种基于动态随机球测试系统的球面参考镜校正方法

    公开(公告)号:CN111649911A

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN202010366778.X

    申请日:2020-04-30

    IPC分类号: G01M11/00

    摘要: 本发明公开了一种基于动态随机球测试系统的球面参考镜校正方法。该方法步骤为:搭建动态随机球测试系统;使气泵和线性电源工作,产生的气体继而推动真空发生器产生真空负压,作用到随机球的真空端口;使氮气减压器工作,输出的超纯氮气作用到随机球的超纯气体端口;使干涉仪开始工作,调整被测球面参考镜和旋转的随机球,使得两者保持干涉;随机球开始工作,保证状态完成多次测量,平均结果即为参考球面的校正结果;利用Zernike多项式展开和PSD分析,可对校正的参考球面作详细分析。本发明在校正过程中,无需多次操作参考球面和测试球面,测量所需时间少、精确高效,测量结果能够有效保证面形在各个频段的信息。

    一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法

    公开(公告)号:CN110672216A

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201910901037.4

    申请日:2019-09-23

    IPC分类号: G01J9/02

    摘要: 本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤:根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置,使光斑透过点衍射板狭缝;根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置;找到光斑中针孔的像,并微调系统位置,将其移动至光斑中心;再次微调系统光轴方向位置,至光斑上出现干涉图样,此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度,且准确度高、装置简单。

    一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110082071A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910318797.2

    申请日:2019-04-19

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为:首先将待测直角棱镜放入测量光路中,得到由待测直角棱镜前端面自准直返回的光束与由待测直角棱镜内部反射并返回的光束形成的干涉图;然后引入偏移量,得到一系列移相干涉图,计算出波差面数据;接着对波差面数据进行平面拟合,得到拟合平面的系数参数和入射波面与出射波面的夹角;最后将待测直角棱镜展开为相应平行玻璃平板,由拟合平面的系数参数计算出待测直角棱镜角度偏差与棱差数据。本发明能够实现直角棱镜光学平行差的自动化测量,具有装置简单、精度高、稳定性好的优点。

    一种大气环境参数主被动微波遥感装置

    公开(公告)号:CN115113207A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202210703729.X

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: G01S13/95 G01N22/04

    摘要: 本发明公开了一种大气环境参数主被动微波遥感装置,包括发射天线、接收天线、发射射频组件、接收射频组件、信号调理模块和信号控制与采集处理模块;所述发射天线用于辐射雷达的发射信号,接收天线用于接收目标反射的雷达回波信号及目标自身辐射信号;所述发射射频组件用于产生射频信号;所述接收射频组件对天线接收的信号变频至中频信号;所述信号调理模块对中频信号进行放大、滤波;所述信号控制与采集处理模块用于控制发射组件产生需要的射频信号波形、采集调理后的中频信号并进行处理。本发明可在雷达、辐射计两种模式下,实现降雨、非降雨条件下的大气环境参数监测。

    一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110082071B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN201910318797.2

    申请日:2019-04-19

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为:首先将待测直角棱镜放入测量光路中,得到由待测直角棱镜前端面自准直返回的光束与由待测直角棱镜内部反射并返回的光束形成的干涉图;然后引入偏移量,得到一系列移相干涉图,计算出波差面数据;接着对波差面数据进行平面拟合,得到拟合平面的系数参数和入射波面与出射波面的夹角;最后将待测直角棱镜展开为相应平行玻璃平板,由拟合平面的系数参数计算出待测直角棱镜角度偏差与棱差数据。本发明能够实现直角棱镜光学平行差的自动化测量,具有装置简单、精度高、稳定性好的优点。