一种基于数字条纹投影技术测量微小物体表面高度的测量系统及其方法

    公开(公告)号:CN102768020B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201210276379.X

    申请日:2012-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于数字条纹投影技术测量微小物体表面高度的测量系统及其方法,首先构建三维测量系统,三维测量系统包括工作平台、电视显微镜镜头、透镜组和微型投影仪,电视显微镜镜头垂直于工作平台朝下摆放,微型投影仪的镜头向下与电视显微镜头摆放在同一平面,透镜组放置在微型投影仪的镜头前,用来聚焦微型投影仪投出的正弦条纹图像,待测物体放置与工作平台上;在对对三维测量系统进行标定,获得待测物体表面的最终相位,可获得待测物体表面的高度。本发明精准的获取了待测物体表面的高度情况,具有很高的利用价值,精度高,且测量、安装方便,价格低廉,具体见图3和图4的测量结果。

    一种基于数字条纹投影技术测量微小物体表面高度的测量系统及其方法

    公开(公告)号:CN102768020A

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201210276379.X

    申请日:2012-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于数字条纹投影技术测量微小物体表面高度的测量系统及其方法,首先构建三维测量系统,三维测量系统包括工作平台、电视显微镜镜头、透镜组和微型投影仪,电视显微镜镜头垂直于工作平台朝下摆放,微型投影仪的镜头向下与电视显微镜头摆放在同一平面,透镜组放置在微型投影仪的镜头前,用来聚焦微型投影仪投出的正弦条纹图像,待测物体放置与工作平台上;在对对三维测量系统进行标定,获得待测物体表面的最终相位,可获得待测物体表面的高度。本发明精准的获取了待测物体表面的高度情况,具有很高的利用价值,精度高,且测量、安装方便,价格低廉,具体见图3和图4的测量结果。

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