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公开(公告)号:CN104030350A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201410308789.7
申请日:2014-07-01
Applicant: 南京大学
IPC: C01G27/00 , H01L21/335 , H01L29/772 , B82Y40/00
Abstract: 一种制备HfS3纳米带材料的方法,将铪粉末与升华硫粉末按照1:3比例混合,充分研磨至混合均匀,将混合好的反应原料装入一端封闭的石英管中,抽真空,焰封。将密封好的石英管水平放入卧式管式炉中,在一定温度下反应一段时间后,石英管内生成产物三硫化铪(HfS3)纳米带。由本发明HfS3纳米带材料制备FET或光探测器器件,FET为p型半导体,可见光探测器在可见光的波长范围内具有敏感的光电特性。本发明公开了其制法。
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公开(公告)号:CN104261358A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201410460580.2
申请日:2014-09-04
Applicant: 南京大学
CPC classification number: Y02P70/521 , C01B19/007 , C01P2002/80 , C01P2004/03 , C01P2004/17
Abstract: 一种制备ZrSe3和HfSe3纳米带的方法,即将锆粉(或铪粉)与硒粉按照1∶3比例混合,充分研磨混合均匀并装入一端封闭的石英管中,抽真空,火焰封闭另一端。将密封好的石英管水平放入管式炉的中,原料在炉子中间,在550-750℃反应一段时间后,原料全部转化为ZrSe3(或HfSe3)纳米带。然后,将这两种纳米带分别在SiO2/Si基片上加工成单根纳米带的场效应晶体管作为光探测器。这两种光探测器在可见光的波长范围内具有良好的光敏感特性。本发明公开了其材料制备方法和该探测器的制作方法。
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