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发明公开
一种基于光调控忆阻器模拟视觉感受器的制备方法审中-公开

公开(公告)号：CN118055687A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202410099261.7

申请日：2024-01-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 万昌锦 , 刘斯垚 , 时凯璐 , 乔乐生 , 崔航源 , 李亚霖 , 万青

IPC: H10N70/00 , H10N70/20

Abstract: 本发明涉及存算一体芯片技术领域，特别涉及一种基于光调控忆阻器模拟视觉感受器的制备方法。包括以下步骤，步骤S1：利用ITO玻璃片作为底电极；步骤S2：使用原子层沉积ALD生长ZrOx；步骤S3：使用磁控溅射生长TaOx；步骤S4：使用磁控溅射生长IGZO；步骤S5：使用热蒸发生长Ag作为顶电极。本发明利用IGZO光敏感性，在不同波长光照射后，会导致忆阻器的电压发生变化，从而在同一恒流输入下，不同波长的光照射后产生不同的震荡频率，模拟生物视觉感受器效果更好。

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