公开(公告)号：CN111693444A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010586001.4

申请日：2020-06-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  刘宗光 ,  严江 ,  王军转

IPC: G01N15/10 ,  G01N21/64 ,  G01N33/487 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开一种用于细胞力学检测的弹簧纳米线探测器，包括一端固定于微机械操作平台上的垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧，所述垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型或钩状的悬空结构；当所述直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型时，所述直线型的纳米线末端表面设有荧光标记物。本发明通过控制纳米线弹簧的实时形变观察即可测试相关力学性质，且端部设有悬空的纳米级探头，可实现对细胞无损伤检测。

公开(公告)号：CN114137719A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202111454282.9

申请日：2021-12-01

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  严江 ,  张颖 ,  刘宗光 ,  王军转

IPC: G02B26/08 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种偏转可控的纳米线微振镜，包括一对导电电极、悬空于两导电电极之间的弛豫型导电纳米线以及固定在弛豫型纳米线中间的反射镜片。所述的弛豫型导电纳米线形貌包括但不限于三角形、U形、圆形以及多边形。本发明的纳米线微振镜的支撑结构由传统硅材料制成，具有优异的力学性能，可在撤销偏转力后恢复到原始形状，实现稳定应用。

公开(公告)号：CN110544656B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201910885207.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  李澄 ,  董泰格 ,  严江 ,  黄凯 ,  张荣 ,  王军转

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L27/15 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种利用超可拉伸晶态纳米线实现Micro‑LED巨量转移的方法，包括以下步骤：利用PECVD或者PVD工艺在衬底上淀积一层绝缘介质层作为牺牲层；利用光刻、电子束直写或者掩膜板技术定义台阶边缘，以及与Micro‑LED接触固定的区域，利用干法或湿法刻蚀工艺刻蚀绝缘介质层形成弹簧状垂直台阶侧壁；并沿着台阶刻蚀制作引导通道；在制备好的台阶一端，通过光刻、蒸发或者溅射工艺，局部淀积一层催化金属层；升高温度至催化金属熔点以上，通入还原性气体等离子体进行处理，使催化金属层转变为分离的金属纳米颗粒；本发明方法突破了长期以来限制微发光二极管的大规模制备和巨量转移的问题。

公开(公告)号：CN114137719B

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202111454282.9

申请日：2021-12-01

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  严江 ,  张颖 ,  刘宗光 ,  王军转

IPC: G02B26/08 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种偏转可控的纳米线微振镜，包括一对导电电极、悬空于两导电电极之间的弛豫型导电纳米线以及固定在弛豫型纳米线中间的反射镜片。所述的弛豫型导电纳米线形貌包括但不限于三角形、U形、圆形以及多边形。本发明的纳米线微振镜的支撑结构由传统硅材料制成，具有优异的力学性能，可在撤销偏转力后恢复到原始形状，实现稳定应用。

公开(公告)号：CN111693444B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202010586001.4

申请日：2020-06-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  刘宗光 ,  严江 ,  王军转

IPC: G01N15/10 ,  G01N21/64 ,  G01N33/487 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开一种用于细胞力学检测的弹簧纳米线探测器，包括一端固定于微机械操作平台上的垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧，所述垂直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型或钩状的悬空结构；当所述直型三维状纳米线弹簧或水平波浪线型纳米线弹簧的另一端末端为直线型时，所述直线型的纳米线末端表面设有荧光标记物。本发明通过控制纳米线弹簧的实时形变观察即可测试相关力学性质，且端部设有悬空的纳米级探头，可实现对细胞无损伤检测。

公开(公告)号：CN110544656A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910885207.4

申请日：2019-09-19

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  李澄 ,  董泰格 ,  严江 ,  黄凯 ,  张荣 ,  王军转

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L27/15 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种利用超可拉伸晶态纳米线实现Micro-LED巨量转移的方法，包括以下步骤：利用PECVD或者PVD工艺在衬底上淀积一层绝缘介质层作为牺牲层；利用光刻、电子束直写或者掩膜板技术定义台阶边缘，以及与Micro-LED接触固定的区域，利用干法或湿法刻蚀工艺刻蚀绝缘介质层形成弹簧状垂直台阶侧壁；并沿着台阶刻蚀制作引导通道；在制备好的台阶一端，通过光刻、蒸发或者溅射工艺，局部淀积一层催化金属层；升高温度至催化金属熔点以上，通入还原性气体等离子体进行处理，使催化金属层转变为分离的金属纳米颗粒；本发明方法突破了长期以来限制微发光二极管的大规模制备和巨量转移的问题。