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公开(公告)号:CN119789486A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202510281431.8
申请日:2025-03-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种N型横向器件及制备方法,该器件在传统横向双扩散金属氧化物半导体基础上,增设另一组栅极与电流通路,通过下多晶硅栅与上多晶硅栅协同控制,形成两条并联的源漏电流通路;同时在N—硅层內嵌入一个浮置P型硅层,在相同击穿电压下,可以提高N—硅层的掺杂浓度,从而进一步降低器件的导通电阻。制备方法中利用Si‑SiO₂键合、离子注入、等离子刻蚀、原子层淀积及热氧化层生长等工艺方法制备器件,其制备工艺兼容标准CMOS工艺。在相同芯片面积下,本发明器件的电流密度提升至传统LDMOS的两倍以上;同时下层二氧化硅的设计,易于实现器件之间的完全隔离,提高器件的高温稳定性与抗辐照能力。
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公开(公告)号:CN116818699B
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202310669130.3
申请日:2023-06-07
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种非分光红外气体传感器,包括蘑菇型双腔体六棱台光学气室、分时选择器、滤波放大电路、驱动模块和无线传感系统,双腔体六棱台光学气室内设有温度传感器和多个双通道热释电红外探测器,双腔体六棱台光学气室的外侧设有PI电热膜;分时选择器,分时选择输出一个双通道热释电红外探测器上相对应的一组参考信号和探测信号;滤波放大电路模拟信号进行滤波放大,并将放大后的信号传输给无线传感系统进行模数转化,并将得到的数字信号输送给中心终端设备。本发明的传感器能增加探测器面的红外辐射照度,增强探测、识别能力和灵敏度。本发明的标定测量方法,通过寻找气体浓度与电压间的关系,提高了探测结果的准确性。
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公开(公告)号:CN107082034B
公开(公告)日:2023-06-20
申请号:CN201710315670.6
申请日:2017-05-08
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: B60N2/62 , B60N2/90 , A61B5/0205 , G01D21/02 , B60K28/06
Abstract: 本发明公开了一种智能汽车座垫及其测量方法,智能汽车坐垫包括坐垫和坐垫主体以及依附在坐垫周围的四个酒精浓度传感器,坐垫主体包括压电薄膜层、电容薄膜层、柔性绝胶层、柔性电路层。测量方法的步骤包括:通过传感器采集心率、呼吸、压力、酒精浓度信号;软硬件过滤干扰;处理计算得到测量信号得出驾驶人员的一系列的驾驶状态信息;针对得到的驾驶状态做出相应的反馈预警。本发明通过智能汽车坐垫非接触式电路来测量驾驶人员在驾车过程中的坐姿舒适度、疲劳度、是否饮酒等状态,测量方法简单,适用于车辆驾驶过程中的实时监控。
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公开(公告)号:CN108593186B
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN201810634962.0
申请日:2018-06-20
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01L9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于双巨压阻传感器的井下压力探测装置,包括高压量程和低压量程的巨压阻压力传感器、供电电源、信号处理电路、模拟选择器、模数转换器、单片机、无线通信模块、定位模块;巨压阻压力传感器与模块选择器连接,将采集到的数据信号通过模拟选择器选通送给信号处理电路;信号处理电路对模块选择器选择后的信号进行处理,经模数转换器将模拟信号转换成数字信号后传送至单片机;无线通信模块将从单片机接收数据发送至用户手机;定位模块用于获取巨压阻压力传感器的井下深度。本发明显著的提高了井下压力测量的灵敏度和分辨率,同时削弱了非线性误差,能够在整个井下探测范围内(0‑8km)实现统一的高精度压力测量。
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公开(公告)号:CN108332898B
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN201810344418.2
申请日:2018-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种复合量程气压传感器,包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔,硅底层底部向上设置有两级凹槽,凹槽上方设有内膜片和外膜片,外膜片比内膜片的厚度厚,内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜,外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜;绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本发明还公开了一种高精度探空气压测量装置,本发明提高了传感器的可承受最大压力,由于使用了较厚的外膜,因此可以使用更薄的内膜片,从而实现了更高的灵敏度,有效的减小了数据测量误差,满足了高精度气压测量装置的需求。
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公开(公告)号:CN115309697A
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN202211069304.4
申请日:2022-08-31
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G06F15/78 , G06F30/3947 , G06F115/02
Abstract: 本发明公开了一种基于chiplet芯粒的多层架构及数据传输方法,其多层架构包括边缘接线结构以及固定于边缘接线结构上的多个硅片,每个所述硅片表面均设置有多个chiplet芯粒,每个所述chiplet芯粒的接线均从相应的硅片表面延伸至边缘接线结构内并在边缘接线结构内进行互联;其数据传输方法包括互联的chiplet芯粒作为数据传输端和数据接收端时,直接进行数据传输;本发明实现了chiplet芯粒之间通信的高效率数据传输,减小了chiplet芯粒之间导线带来的寄生干扰以及方便修改单个chiplet芯粒,并且将布线和chiplet芯粒阵列分开设计,减少设计的复杂度。
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公开(公告)号:CN113588586A
公开(公告)日:2021-11-02
申请号:CN202110911305.8
申请日:2021-08-10
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01 , G05D23/24
Abstract: 一种基于STM32的多组分气体浓度检测系统及方法;采样气室上设有进气口和出气口,进气口和出气口处安装防水膜,核心电路模块调节红外光学系统发出对应强度的红外光线至探测交互区,探测交互区位于采样气室上;核心电路模块调节热释电探测器模块对应采集发射到探测交互区上的红外光信号,热释电探测器模块将采集的红外光信号传输给核心电路模块处理;恒温模块采集采样气室内的温度数据并传输给核心电路模块,核心电路模块将处理后的数据传输给恒温模块进行温度调节。通过热释电探测器模块上的多个滤光片和热释电探测器可以检测多组分气体的浓度,同时采样气室可以保持温度和湿度的适宜,保证结果的准确性。
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公开(公告)号:CN111620295A
公开(公告)日:2020-09-04
申请号:CN202010460055.6
申请日:2020-05-27
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种微压探测压力传感器,SOI硅片的衬底硅底部经过刻蚀形成应力薄膜并与玻璃基底键合形成真空腔,在应力薄膜下方刻蚀凹形槽结构和中心质量聚集结构,分别位于一对压力敏感硅铝异质结构的下方和薄膜中心区域。器件层掺杂后刻蚀出一对压力敏感硅铝异质结构,一对温度参考硅铝异质结构以及四个对称的L型凸起结构,温度参考结构的电阻处于应变薄膜区域外不受应力影响,配合本发明的传感器恒温控制系统可以有效地消除温度漂移特性。本发明还公开了一种微压探测传感器测量装置,包括其配套电路及校准标定方法,结合其传感器新型压阻元件及应力薄膜的结构设计,可以平衡高灵敏度及高线性度的测量特性,达到实际微压测量的应用标准。
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公开(公告)号:CN105823749B
公开(公告)日:2019-04-23
申请号:CN201610331591.X
申请日:2016-05-18
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N21/3518
Abstract: 一种基于MEMS的电容式红外气体传感器及其制备方法,该传感器以阵列的形式布置,通过对比分析特定波长下红外光强度的变化来测定CO、CH4、SO2的浓度,并采用电容作为感应元件。此外,太阳辐射检测技术在监测天气气候状况、预测未来天气、农业生产、太阳能开发等都有着重要意义,大气臭氧层的损耗,照射到地面的太阳光紫外线增强,使得人们越来越关注太阳辐射的变化。本发明设计的传感器还带有一个简便系统,可以用于太阳辐射量检测。本发明的电容式红外气体传感器制作与CMOS工艺兼容,易于板上集成,传感器采用电容作为感应元件,温度漂移低、精度高。
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公开(公告)号:CN108593186A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201810634962.0
申请日:2018-06-20
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01L9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于双巨压阻传感器的井下压力探测装置,包括高压量程和低压量程的巨压阻压力传感器、供电电源、信号处理电路、模拟选择器、模数转换器、单片机、无线通信模块、定位模块;巨压阻压力传感器与模块选择器连接,将采集到的数据信号通过模拟选择器选通送给信号处理电路;信号处理电路对模块选择器选择后的信号进行处理,经模数转换器将模拟信号转换成数字信号后传送至单片机;无线通信模块将从单片机接收数据发送至用户手机;定位模块用于获取巨压阻压力传感器的井下深度。本发明显著的提高了井下压力测量的灵敏度和分辨率,同时削弱了非线性误差,能够在整个井下探测范围内(0-8km)实现统一的高精度压力测量。
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