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公开(公告)号：CN110421553B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201910807905.2
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种三自由度宏微运动并联结构装置及控制方法，包括机械本体部分、检测部分及控制部分；机械本体部分包括气浮平台、平台静基座、微动平台、驱动微动平台宏动运动的宏动支链、驱动微动平台精密微运动的微动支链，检测部分包括光栅位移传感器、光谱共焦式位移传感器及短量程激光测距传感器，控制部分包括音圈电机伺服放大器、直线精密单元伺服放大器、运动控制卡、数据采集卡及计算机。本发明音圈直线电机的宏动运动保证轨迹跟踪和运动范围，直线精密驱动单元驱动的微动运动实现高精度定位控制，宏动和微动集成解决大行程与高精度的矛盾，在较大工作空间内实现高精度定位控制。
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公开(公告)号：CN110434621B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201910808354.1
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，该装置采用主动振动的方式进行隔振，有效的减少了因机器振动对定位平台的影响，能进一步地实现更高精度的定位。
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公开(公告)号：CN110434621A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910808354.1
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，该装置采用主动振动的方式进行隔振，有效的减少了因机器振动对定位平台的影响，能进一步地实现更高精度的定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110434835A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910807872.1
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种二自由度宏微精密定位平台装置及控制方法，包括定位平台本体部分、检测部分及控制部分；X、Y轴宏动平台可在直线电机的驱动下实现宏动，XY轴微动平台由压电陶瓷驱动器驱动，所述检测部分包括用于检测XY轴微动平台位移信号的电容位移传感器、用于检测X轴宏动平台位移的X轴光栅位移传感器及用于检测Y轴宏动平台运动位移的Y轴光栅位移传感器；所述控制部分包括数据采集卡、运动控制卡、计算机、压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器，该装置采用了宏-微驱动结合的方式，可以在宏动粗位移下拥有快速响应、大行程的特点，又具有柔性铰链体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的优点，可以实现高精度精密定位。
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公开(公告)号：CN110421553A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910807905.2
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种三自由度宏微运动并联结构装置及控制方法，包括机械本体部分、检测部分及控制部分；机械本体部分包括气浮平台、平台静基座、微动平台、驱动微动平台宏动运动的宏动支链、驱动微动平台精密微运动的微动支链，检测部分包括光栅位移传感器、光谱共焦式位移传感器及短量程激光测距传感器，控制部分包括音圈电机伺服放大器、直线精密单元伺服放大器、运动控制卡、数据采集卡及计算机。本发明音圈直线电机的宏动运动保证轨迹跟踪和运动范围，直线精密驱动单元驱动的微动运动实现高精度定位控制，宏动和微动集成解决大行程与高精度的矛盾，在较大工作空间内实现高精度定位控制。
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公开(公告)号：CN210790014U
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201921438158.1
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，该装置采用主动振动的方式进行隔振，有效的减少了因机器振动对定位平台的影响，能进一步地实现更高精度的定位。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211103963U
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201921421406.1
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三自由度宏微运动并联结构装置，包括机械本体部分、检测部分及控制部分；机械本体部分包括气浮平台、平台静基座、微动平台、驱动微动平台宏动运动的宏动支链、驱动微动平台精密微运动的微动支链，检测部分包括光栅位移传感器、光谱共焦式位移传感器及短量程激光测距传感器，控制部分包括音圈电机伺服放大器、直线精密单元伺服放大器、运动控制卡、数据采集卡及计算机。本实用新型音圈直线电机的宏动运动保证轨迹跟踪和运动范围，直线精密驱动单元驱动的微动运动实现高精度定位控制，宏动和微动集成解决大行程与高精度的矛盾，在较大工作空间内实现高精度定位控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210589272U
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201921425870.8
申请日：2019-08-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种二自由度宏微精密定位平台装置，包括定位平台本体部分、检测部分及控制部分；X、Y轴宏动平台可在直线电机的驱动下实现宏动，XY轴微动平台由压电陶瓷驱动器驱动，所述检测部分包括用于检测XY轴微动平台位移信号的电容位移传感器、用于检测X轴宏动平台位移的X轴光栅位移传感器及用于检测Y轴宏动平台运动位移的Y轴光栅位移传感器；所述控制部分包括数据采集卡、运动控制卡、计算机、压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器，该装置采用了宏-微驱动结合的方式，可以在宏动粗位移下拥有快速响应、大行程的特点，又具有柔性铰链体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的优点，可以实现高精度精密定位。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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