一种高压功率芯片的深结复合终端结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN112420812A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202011292087.6

    申请日:2020-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种高压功率芯片的深结复合终端结构,所述复合终端结构包括:横向变掺杂区域、结终端延伸区域和SIPOS结构;所述横向变掺杂区域为在多个不同渐变掺杂区窗口的遮掩下注入铝离子,再经高温扩散形成的区域;所述结终端延伸区域设置在所述横向变掺杂区域(VLD)的末端,并与所述横向变掺杂区域呈部分交叠设置,所述结终端延伸区域(JTE)为棚离子在高温下扩散形成的区域;所述SIPOS结构设置在所述横向变掺杂区域和结终端延伸区域的上部。本发明将SIPOS结构覆盖于横向变掺杂区域和结终端延伸区域之上来减少终端区的面积,提高其终端效率,降低界面电荷对终端结构击穿电压的影响,达到在存在界面电荷的情况下满足3.3kV等级的耐压要求。

    一种压接型IGBT芯片动态特性实验平台及测量方法

    公开(公告)号:CN112630615B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202011452092.9

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种压接型IGBT芯片动态特性实验平台及测量方法,包括:压力夹具,施压装置,压力传感器,压力均衡装置,第一、第二环氧树脂板,压接型IGBT芯片,加热板,碟簧,叠层母排,母线电容,负载电感,续流二极管,直流电压源,驱动脉冲生成器,电流和电压测量装置;母线电容连直流电压源;叠层母排连直流电压源和续流二极管;续流二极管连压接型IGBT芯片;负载电感连续流二极管;驱动脉冲生成器连压接型IGBT芯片;压接型IGBT芯片连直流电压源;碟簧、第一环氧树脂板、加热板、压接型IGBT芯片、第二环氧树脂板、压力均衡装置、压力传感器、施压装置从下到上依次堆叠;压力夹具固定该叠层结构。本发明能测量压接型IGBT芯片在电‑热‑力综合影响下的动态特性。

    一种压接型IGBT芯片动态特性实验平台及测量方法

    公开(公告)号:CN112630615A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011452092.9

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种压接型IGBT芯片动态特性实验平台及测量方法,包括:压力夹具,施压装置,压力传感器,压力均衡装置,第一、第二环氧树脂板,压接型IGBT芯片,加热板,碟簧,叠层母排,母线电容,负载电感,续流二极管,直流电压源,驱动脉冲生成器,电流和电压测量装置;母线电容连直流电压源;叠层母排连直流电压源和续流二极管;续流二极管连压接型IGBT芯片;负载电感连续流二极管;驱动脉冲生成器连压接型IGBT芯片;压接型IGBT芯片连直流电压源;碟簧、第一环氧树脂板、加热板、压接型IGBT芯片、第二环氧树脂板、压力均衡装置、压力传感器、施压装置从下到上依次堆叠;压力夹具固定该叠层结构。本发明能测量压接型IGBT芯片在电‑热‑力综合影响下的动态特性。

    一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置

    公开(公告)号:CN117096094B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311362406.X

    申请日:2023-10-20

    Abstract: 本发明涉及一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置,其包括安装底板,用于作为基板承载机构,所述安装底板内设有至少一个底板凹槽;AMB基板,用于对芯片提供支撑、散热以及保护,每个底板凹槽内均安设有一块所述AMB基板;金属罩,用于保护AMB基板边缘,所述金属罩覆盖于安装底板上层,且所述金属罩正对每个底板凹槽位置分别设有金属罩窗口;薄膜,用于封闭底板凹槽内的AMB基板及芯片,所述薄膜覆盖于金属罩上层;锁紧环,用于夹紧并固定薄膜,所述锁紧环位于薄膜上层,且所述锁紧环紧贴薄膜边缘,所述锁紧环通过紧固件将薄膜与金属罩压至安装底板;该装置实现多规格AMB基板同时烧结,提高了夹具通用性,提高烧结效率。

    一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置

    公开(公告)号:CN117096094A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311362406.X

    申请日:2023-10-20

    Abstract: 本发明涉及一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置,其包括安装底板,用于作为基板承载机构,所述安装底板内设有至少一个底板凹槽;AMB基板,用于对芯片提供支撑、散热以及保护,每个底板凹槽内均安设有一块所述AMB基板;金属罩,用于保护AMB基板边缘,所述金属罩覆盖于安装底板上层,且所述金属罩正对每个底板凹槽位置分别设有金属罩窗口;薄膜,用于封闭底板凹槽内的AMB基板及芯片,所述薄膜覆盖于金属罩上层;锁紧环,用于夹紧并固定薄膜,所述锁紧环位于薄膜上层,且所述锁紧环紧贴薄膜边缘,所述锁紧环通过紧固件将薄膜与金属罩压至安装底板;该装置实现多规格AMB基板同时烧结,提高了夹具通用性,提高烧结效率。

    多界面互连构件及具有其的功率模块

    公开(公告)号:CN119050091B

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411509883.9

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明提供了一种多界面互连构件及具有其的功率模块,多界面互连构件包括:主体段,主体段的下表面为导电连接面;第一界面互连段,位于主体段的侧部并与主体段连接,第一界面互连段的下表面为第一互连面;第二界面互连段,位于主体段的侧部并与主体段连接,第二界面互连段的下表面为第二互连面;其中,主体段的下表面、第一界面互连段的下表面以及第二界面互连段的下表面中的至少一个设置有浸润槽。通过本申请提供的技术方案,能够解决相关技术中的功率模块内利用率低的问题。

    多界面互连构件及具有其的功率模块

    公开(公告)号:CN119050091A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202411509883.9

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明提供了一种多界面互连构件及具有其的功率模块,多界面互连构件包括:主体段,主体段的下表面为导电连接面;第一界面互连段,位于主体段的侧部并与主体段连接,第一界面互连段的下表面为第一互连面;第二界面互连段,位于主体段的侧部并与主体段连接,第二界面互连段的下表面为第二互连面;其中,主体段的下表面、第一界面互连段的下表面以及第二界面互连段的下表面中的至少一个设置有浸润槽。通过本申请提供的技术方案,能够解决相关技术中的功率模块内利用率低的问题。

Patent Agency Ranking