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公开(公告)号：CN115101455B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210856973.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置，他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构；该旋转底座能相对装接底座水平转动，并用于放置至少一金刚石晶片；该衬底吸取机构用于吸取装接衬底；该点胶机构用于给金刚石晶片点胶；该装膜机构用于薄膜的缠绕安装；该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点：设计巧妙、操作方便，自动化程度高，可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
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公开(公告)号：CN115266726A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210794297.8
申请日：2022-07-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/88 , G01N21/952 , G01N21/01 , G01B11/06 , G09F9/30
Abstract: 本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
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公开(公告)号：CN115101455A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210856973.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置，他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构；该旋转底座能相对装接底座水平转动，并用于放置至少一金刚石晶片；该衬底吸取机构用于吸取装接衬底；该点胶机构用于给金刚石晶片点胶；该装膜机构用于薄膜的缠绕安装；该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点：设计巧妙、操作方便，自动化程度高，可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
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公开(公告)号：CN116945061A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310703063.2
申请日：2023-06-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种口径可调节的杯型砂轮，涉及磨削加工技术领域，包括砂齿组件、转盘以及调节盘；砂齿组件包括第一砂齿接头，第一砂齿接头的首尾两端各配置有一个第二砂齿接头，相邻的两个砂齿组件之间通过第二砂齿接头与转轴铰接相连，且各第一砂齿接头与第二砂齿接头上分别装设有长结块和短结块；转盘沿其圆周方向阵列设置有多个弧形槽；调节盘其上配置有多个砂齿组件，各砂齿组件相连以围合形成砂轮直径；调节盘对应弧形槽设有第一滑槽，第一滑槽至少与弧形槽部分重叠，第一砂齿接头的连接部伸设于重叠部分内，调节盘上还设用以与所述转轴适配的第二滑槽；通过驱使调节盘绕转盘的中心转动，以调节砂轮直径，改善现有等直径砂轮的弊端。
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公开(公告)号：CN115229647B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210853059.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/033 , B24B19/22 , B24B51/00 , B24B49/00 , B24B1/00 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116000807A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211670628.3
申请日：2022-12-26
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明提供了一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具，包括本体，所述本体上设置有具有螺纹孔的凸台，还包括：夹紧组件和调节组件，其中，所述夹紧组件包括第一夹板、第二夹板以及固定在所述本体上的固定板，所述第一夹板、第二夹板以及所述固定板围成用于放置多晶金刚石晶圆衬底片的装夹位；调节组件包括螺纹滑杆、调节件以及固定件；通过在本体上设置具有定位壁，边缘处有凸台，U形滑块与螺纹滑杆连接成一整体，通过螺纹滑杆带动U形滑块运动，来实现第一夹板和第二夹板的相对运动，进而夹紧多晶金刚石晶圆衬底片。本发明还提供了一种装夹方法。通过本发明方案，提高了夹具的装夹效果，简化了结构，且能实现精准控制。
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公开(公告)号：CN117182793A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311239319.5
申请日：2023-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种金刚石磨盘及其制备方法，所述金刚石磨盘由盘体和打磨面组成，所述打磨面配置在盘体上，用于在旋转后对外部工作面实施平整打磨；所述盘体配置成由DLP光固化的3D打印方式制造出为多孔结构的多边形结块所构造成；多个所述多边形结块通过结合剂规则拼接而成呈环柱体的所述盘体；每一结块的内端面均匀分布有不同形状的孔隙，所述孔隙构造为一体形成在结块上，并通过各个孔隙相互协作配合形成所述打磨面；通过DLP光固化3D打印技术制造出金刚石磨盘，可根据设计要求制造出合适的孔隙率和孔径，使磨盘具有多孔结构，不受传统的模具限制，能够满足不同结块的设计需求，可根据需要调整孔隙率和孔径，提供更好的磨削效果。
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公开(公告)号：CN117181051A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311225849.4
申请日：2023-09-21
Applicant: 华侨大学
IPC: B01F27/90 , B01F33/501 , B01F101/23
Abstract: 本发明提供了一种用于砂轮原料的桌面级混料装置，涉及混料装置技术领域。包括底座、混料容器、搅拌机构以及控制件，所述底座用以支撑于桌面上；所述混料容器，设于所述底座的上方，所述混料容器的顶部设有开口，正对所述开口配置有可开合的盖体；所述搅拌机构包括设于所述混料容器内的搅拌器、用以驱使所述搅拌器转动的电机，所述搅拌器上设置有多个搅拌叶片，各所述搅拌叶片呈上下错位分布，且各所述搅拌叶片的顶面与搅拌器轴垂直，所述搅拌叶片的底面均呈圆弧形，用以减少对砂轮原料的剪切；所述控制件设于所述底座内部，并与所述电机相电连接，用以调控电机转速和搅拌时长。本申请结构简单，并设计为桌面级尺寸，便于实验室使用。
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公开(公告)号：CN116652724A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310703069.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法，涉及精密加工技术领域，包括底座，以及配置在底座上的主轴机构和多个进给机构；主轴机构包括磨盘以及用以驱使磨盘转动的第一驱动件；进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件，第二驱动件用以驱使机架沿垂直方向移动，第三驱动件配置在机架上，用以与磨头适配连接，并可驱使磨头转动；磨头朝向磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片；其中，各驱动件均与控制件相电连接，各进给机构沿磨盘的圆周方向阵列分布，抛光装置被构造成通过控制件驱使主轴机构和进给机构配合作业，以使各磨头上的待加工金刚石片同步在磨盘上打磨加工，从而提升加工效率，优化加工轨迹。
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公开(公告)号：CN116716664A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310684551.3
申请日：2023-06-09
Applicant: 华侨大学
IPC: C30B33/06
Abstract: 本发明提供一种金刚石晶片及贴片方法，该贴片方法包括以下步骤：将纤维与融于水的溴化钾搅拌混合，填料入磨具中，压平成片，得到纤维溴化钾片；将所述纤维溴化钾片放入磨具中压制出多个镂空孔洞，得到镂空纤维溴化钾片；将金刚石衬底放置在水平平台上，然后将镂空纤维溴化钾片对齐放置在所述金刚石衬底上部，从上方向所述镂空纤维溴化钾片滴加热熔性胶水，再将蓝宝石片水平压下并固定，待其凝固形成衬底片；将凝固后的衬底片放入水中，待溴化钾在水中溶解消失后，在热熔性胶水内部形成镂空；将衬底片风干后低温烧结，从而在衬底片内部形成网状的纤维孔隙，即得到金刚石衬底片。
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