使用绝热锥形波导的边缘耦合

    公开(公告)号:CN106164723B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201580016633.4

    申请日:2015-04-07

    IPC分类号: G02B6/14 G02B6/122

    摘要: 一种装置,包括:厚波导(104),包括从第一位置到第二位置的第一绝热锥形,其中第一绝热锥形在第一位置处比第二位置处更宽;以及薄板波导(106),包括:从第一位置到第二位置的第二绝热锥形,其中第二绝热锥形在第二位置处比第一位置处更宽,以及从第二位置到第三位置的第三绝热锥形,其中第三绝热锥形在第二位置处比第三位置处更宽;其中,第一绝热锥形的至少一部分邻近第二绝热锥形,并且第一绝热锥形和第二绝热锥形彼此分离恒定间隙。

    边缘耦合设备制造
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106164722A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201580018130.0

    申请日:2015-04-07

    摘要: 提供了一种制造边缘耦合设备的方法和一种边缘耦合设备。该方法包括移除一部分覆层材料,以在倒锥形硅波导上形成沟槽;在覆层材料的剩余部分上以及在沟槽中,沉积具有折射率大于二氧化硅的材料;以及移除在所述沟槽中的一部分所述材料,以形成脊形波导。

    低损耗模转换器及其制作方法

    公开(公告)号:CN106461873B

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN201580023658.7

    申请日:2015-04-30

    IPC分类号: G02B6/30 G02B6/122 G02B6/14

    摘要: 一种装置,包括:基底,所述基底包括设置在其顶部的二氧化硅(SiO2)材料;硅波导,所述硅波导包括第一绝热锥形,并且被封闭在所述二氧化硅材料中;以及低折射率波导,所述低折射率波导设置在所述基底顶部并邻近所述第一绝热锥形。一种模转换器制作方法,包括:获取模转换器,所述模转换器包括基底、硅波导和硬膜,所述硅波导设置在所述基底上且包括侧壁和第一绝热锥形,所述硬膜设置在所述硅波导上且包括二氧化硅(SiO2)层,其中所述硬膜不覆盖所述侧壁;以及氧化所述硅波导和所述硬膜,其中所述氧化所述硅波导和所述硬膜将所述硅波导封闭在所述二氧化硅层内。

    边缘耦合设备制造
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106164722B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201580018130.0

    申请日:2015-04-07

    摘要: 提供了一种制造边缘耦合设备的方法和一种边缘耦合设备。该方法包括移除一部分覆层材料,以在倒锥形硅波导上形成沟槽;在覆层材料的剩余部分上以及在沟槽中,沉积具有折射率大于二氧化硅的材料;以及移除在所述沟槽中的一部分所述材料,以形成脊形波导。

    用于低损耗模转换器的倒锥波导

    公开(公告)号:CN106461873A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580023658.7

    申请日:2015-04-30

    IPC分类号: G02B6/30 G02B6/122 G02B6/14

    摘要: 一种装置,包括:基底,所述基底包括设置在其顶部的二氧化硅(SiO2)材料;硅波导,所述硅波导包括第一绝热锥形,并且被封闭在所述二氧化硅材料中;以及低折射率波导,所述低折射率波导设置在所述基底顶部并邻近所述第一绝热锥形。一种模转换器制作方法,包括:获取模转换器,所述模转换器包括基底、硅波导和硬膜,所述硅波导设置在所述基底上且包括侧壁和第一绝热锥形,所述硬膜设置在所述硅波导上且包括二氧化硅(SiO2)层,其中所述硬膜不覆盖所述侧壁;以及氧化所述硅波导和所述硬膜,其中所述氧化所述硅波导和所述硬膜将所述硅波导封闭在所述二氧化硅层内。

    使用绝热锥形波导的边缘耦合

    公开(公告)号:CN106164723A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201580016633.4

    申请日:2015-04-07

    IPC分类号: G02B6/14 G02B6/122

    摘要: 一种装置,包括:厚波导(104),包括从第一位置到第二位置的第一绝热锥形,其中第一绝热锥形在第一位置处比第二位置处更宽;以及薄板波导(106),包括:从第一位置到第二位置的第二绝热锥形,其中第二绝热锥形在第二位置处比第一位置处更宽,以及从第二位置到第三位置的第三绝热锥形,其中第三绝热锥形在第二位置处比第三位置处更宽;其中,第一绝热锥形的至少一部分邻近第二绝热锥形,并且第一绝热锥形和第二绝热锥形彼此分离恒定间隙。