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公开(公告)号：CN117991499A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202211347842.5
申请日：2022-10-31
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本申请实施例提供了一种微镜单元及相关设备。微镜单元包括：镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱，悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体。梁支撑柱分别与第一电极的上表面和悬臂梁的下表面连接，镜面支撑柱分别与悬臂梁的上表面和镜面的下表面连接。第一电极、悬臂梁和镜面电连接，第二电极位于镜面的下方，第一电极与第二电极电隔离。镜面的上表面用于对入射光进行反射，第一电极和第二电极用于驱动镜面绕转轴转动，梁支撑柱和镜面支撑柱分别位于转轴的两侧。在镜面绕转轴向第一方向转动的过程中，第一静弹性体与镜面接触以储存第一弹性势能。当镜面切换到绕转轴向第二方向转动时，第一弹性势能用于转换为镜面的第一转动动能。
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公开(公告)号：CN114252960A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202011027812.7
申请日：2020-09-25
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: G02B6/293
Abstract: 本申请提供了可调光分插复用器T‑OADM，通过光束调整装置改变入射光束射到光学滤波片的入射角，并且在光学滤波片将入射光束分为透射光束和反射光束之后，进一步通过光束调整装置来调整从光学滤波片出射的透射光束的传输方向，以及调整从光学滤波片出射的反射光束的传输方向，使得透射光束和反射光束输出至相应的端口，从而实现一种灵活可控的T‑OADM装置。本申请可应用于光通信领域，例如可以用于实现长途干线、城域网等领域的光域中支路信号的分插和复用。
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公开(公告)号：CN114057155A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202011436611.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本申请提供了一种MEMS芯片及其制备方法、用以提高MEMS芯片的结构可靠性，可广泛用于无线通信、生物医学、航空航天、消费电子、汽车电子以及仪器测量等诸多领域。MEMS芯片包括衬底、运动组件、固定组件和驱动组件，固定组件位于衬底与运动组件之间，其中：运动组件包括固定部、运动部以及第一支撑梁，第一支撑梁分别与运动部和固定部连接，且运动部朝向固定组件的第一面开设有第一避让槽；固定组件接地设置，固定组件朝向运动组件的一面具有凸台以及第一限位柱，凸台与固定部连接并用于支撑固定部，第一限位柱对应一个第一避让槽；驱动组件与运动部连接，用于驱动运动部运动。
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公开(公告)号：CN113120850A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201911408207.1
申请日：2019-12-31
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。
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公开(公告)号：CN113494908B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202010195682.1
申请日：2020-03-19
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本申请提供了一种MEMS惯性传感器，可用于智能汽车、新能源汽车、传统汽车、高铁列车、无人机、智能机器人、摄像稳定平台、智能手机等载体中。所述MEMS惯性传感器包括：衬底；传感组件，所述传感组件包括MEMS悬浮框架，以及，内嵌于所述MEMS悬浮框架内的MEMS功能结构；第一支撑臂，所述第一支撑臂分别与所述MEMS悬浮框架和所述衬底固定连接，所述第一支撑臂用于使所述传感组件悬浮于所述衬底上。本申请提供的MEMS惯性传感器能够阻断封装应力通过衬底、盖板耦合到MEMS惯性器件功能结构上，提升了MEMS惯性传感器的稳定性，并且有利于提升导航的定位精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113120850B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201911408207.1
申请日：2019-12-31
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。
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公开(公告)号：CN116896349A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310323859.5
申请日：2023-03-28
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 本申请公开了一种谐振器、电子元器件和谐振系统，属于微机电技术领域。所述谐振器包括第一子谐振器和多个第二子谐振器，所述第一子谐振器在振动中，在至少两个不平行的方向上具有形变，所述第一子谐振器在所述至少两个不平行方向上均连接有所述第二子谐振器，且所述至少两个不平行的方向上的形变均能使第一子谐振器和第二子谐振器耦合。进而，谐振器能兼顾Q值和Rm，能够具备较高的Q值和较低的Rm，另外，在设计阶段，还可以根据需求设计谐振器的TCF拐点温度，实现TCF拐点温度的定制化。
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公开(公告)号：CN113946004A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202010693017.5
申请日：2020-07-17
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: G02B5/08 , G02B5/09 , G02B13/00 , H01L21/304
Abstract: 本申请提供了一种反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备，属于光学技术领域。本申请提供的反射镜采用平面结构的硅基衬底作为基材，相比于直角三棱镜，可以有效减小反射镜的体积和质量。并且，通过将硅基衬底的第二侧面与第二表面的夹角设计为钝角，可以确保将该反射镜倾斜设置后，该第二侧面与第二表面不会形成向外突出的直角。由此，不仅可以减小该反射镜应用于潜望式的摄像模组时所占用的空间，而且可以降低反射镜组装的过程中，该硅基衬底的侧边因碰撞或摩擦而发生碎裂或者崩边的风险。
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公开(公告)号：CN117526887A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202210912613.7
申请日：2022-07-30
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: H03H9/02
Abstract: 本申请实施例公开了一种温度控制装置及相关设备，能够有效抑制环境温度波动对内部器件的影响，可以提高测温精度。温度控制装置包括：第一固定结构、第二固定结构、两个第一支撑梁、两个第二支撑梁、固定框架和目标器件。第一固定结构和目标器件位于固定框架内侧，第二固定结构位于固定框架外侧。第一固定结构分别通过两个第一支撑梁与固定框架连接，第二固定结构分别通过两个第二支撑梁与固定框架连接，目标器件与第一固定结构固定连接。固定框架上分别连接两个第一支撑梁的第一连接位置和第二连接位置的温度差值小于第一预设值。
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公开(公告)号：CN116896350A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310370697.0
申请日：2023-03-28
Applicant: 华为技术有限公司
Abstract: 一种谐振器和谐振系统，属于器件技术领域。该谐振器包括：压电谐振部、单晶谐振部和耦合部。压电谐振部包括：依次叠加的第一电极、压电层和第二电极。当第一电极和第二电极之间加载驱动信号时，压电谐振部能够在该驱动信号的作用下发生谐振。单晶谐振部的材质为单晶材质或掺杂后的单晶材质。压电谐振部与单晶谐振部能够谐振，且压电谐振部与单晶谐振部通过耦合部连接并耦合。由于压电谐振部和单晶谐振部能够通过耦合部耦合，因此，单晶谐振部位于压电谐振部的振动方向上。本申请解决了压电谐振器的性能较差的问题，本申请用于谐振器。
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