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公开(公告)号：CN117991499A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202211347842.5
申请日：2022-10-31
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本申请实施例提供了一种微镜单元及相关设备。微镜单元包括：镜面、第一电极、第二电极、悬臂梁、梁支撑柱和镜面支撑柱，悬臂梁的第一端形成有第一静弹性体。梁支撑柱分别与第一电极的上表面和悬臂梁的下表面连接，镜面支撑柱分别与悬臂梁的上表面和镜面的下表面连接。第一电极、悬臂梁和镜面电连接，第二电极位于镜面的下方，第一电极与第二电极电隔离。镜面的上表面用于对入射光进行反射，第一电极和第二电极用于驱动镜面绕转轴转动，梁支撑柱和镜面支撑柱分别位于转轴的两侧。在镜面绕转轴向第一方向转动的过程中，第一静弹性体与镜面接触以储存第一弹性势能。当镜面切换到绕转轴向第二方向转动时，第一弹性势能用于转换为镜面的第一转动动能。
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