一种MEMS微镜及相关设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117369114A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202210761151.3

    申请日:2022-06-30

    Abstract: 本申请实施例公开了一种MEMS微镜及相关设备,有效抑制了MEMS微镜的动态形变,提升了MEMS微镜的光学性能。该MEMS微镜包括:反射结构、支撑结构、第一固定结构、驱动结构和第一悬臂梁。反射结构通过第一悬臂梁与第一固定结构连接,驱动结构用于驱动反射结构绕第一转轴旋转,反射结构的正面用于对入射光进行反射,支撑结构固定在反射结构的反面。反射结构的反面包括目标区域和除目标区域外的非目标区域。目标区域内任意位置与反射结构的中心之间的连线与第一转轴之间的夹角大于第一阈值且小于第二阈值。非目标区域覆盖第一转轴和与第一转轴垂直的轴。支撑结构在目标区域内的占比大于在非目标区域内的占比。

    定位定姿的方法、装置以及设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116559926A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202210111699.3

    申请日:2022-01-29

    Abstract: 本申请提供了一种定位定姿的方法,定位定姿的方法应用于定位定姿领域。定位定姿的方法包括以下步骤:设备获取物体的第一状态。第一状态包括第一位置和第一姿态。设备以第一状态为起点,通过惯性导航获取物体的第二状态。第二状态包括第二位置和第二姿态。设备通过初始对准获取物体的第三姿态。设备以第三姿态和第二位置为起点,为物体提供惯性导航。在本申请中,通过初始对准获取的第三姿态替换第二姿态,可以提高定位定姿的准确性。

    一种用于检测角速度的装置、方法和系统

    公开(公告)号:CN117146789A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202210563646.5

    申请日:2022-05-23

    Abstract: 本申请提供了一种用于检测角速度的装置、方法和系统,属于微机电系统MEMS传感器、惯性器件技术领域,以实现对多轴角速度的检测。该装置包括:第一检测单元、第二检测单元、第三检测单元、第四检测单元和弹性耦合单元。弹性耦合单元用于产生四波腹运动,当外界角速度输入装置时,检测单元能够在沿第三轴发生第一位移时输出第一信号,第一位移用于确定角速度的大小。本申请所揭示的装置,通过弹性耦合单元的四波腹运动,耦合四个检测单元实现平面内正交两个方向的线运动,能够实现多轴角速度的检测,同时四个检测单元两两中心对称分布,有助于提高集成度、灵敏度、水平双轴性能的一致性,降低交叉轴耦合误差。

    一种多节点设备的调直方法及相应设备

    公开(公告)号:CN116558508A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202210111713.X

    申请日:2022-01-29

    Abstract: 本申请公开了一种多节点设备的调直方法,用于综采面系统中自动调直液压支架阵列和/或自动调直刮板机。该方法包括控制设备通过液压支架的位置信息和姿态角信息,以及在调直方向上对液压支架阵列的中液压支架的第一目标值确定第一调节量,从而使液压支架根据第一调节量调直液压支架阵列,和/或控制设备通过液压支架的位置信息和姿态角信息、液压支架的推杆伸出的长度值,以及刮板机上连接推杆的目标节点的第二目标值确定第二调节量,从而使液压支架可以通过推杆对刮板机进行推溜操作,以调直刮板机。本申请提供的方案,在调直支架阵列和/或刮板机时还充分考虑了支架的姿态角信息,提高了支架阵列和/或刮板机调直的精准度。

    加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备

    公开(公告)号:CN114509578A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202011187895.6

    申请日:2020-10-29

    Abstract: 本申请提供一种加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备,通过第一锚点区域位于第一轴加速度计的中心位置,有助于降低加速度计的零偏、标度因子等参数的温度系数,提高器件的稳定性。该加速度计包括上盖板层、第一轴加速度计和衬底层,第一轴加速度计包括第一锚点区域、悬臂梁、第一检验质量、第一活动电极、第二活动电极、第一固定电极、第二固定电极、第二锚点区域和第三锚点区域;第一检验质量通过悬臂梁支撑悬空于底层上方;第一锚点区域、第二锚点区域、第三锚点区域分别连接于衬底层和/或上盖板层,第一锚点区域位于第一轴加速度计的中心位置。本申请可应用于消费电子、可穿戴设备、工业自动化、汽车工业、航空业等领域。

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