公开(公告)号：CN102607455B

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201210045676.3

申请日：2012-02-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李中伟 ,  史玉升 ,  钟凯 ,  王从军 ,  王秀鹏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于光学显微镜和变换光照的微观形貌三维测量方法。该方法根据光学显微镜在固定视点不同光照方向下拍摄得到的多张微观图像重建微观结构表面的三维形貌。其过程如下：首先采用UPS方法和表面可积性约束获得具有GBR歧义的表面反射率和法线方向；然后用基于最小熵的GBR消歧法得到无歧义的表面反射率和法线方向；为了减少噪声的影响，在马尔可夫随机场模型下，利用图割法进一步优化表面法线方向；最后，根据表面法线方向，采用积分的方法重建微观结构表面的三维形貌。

公开(公告)号：CN102607455A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210045676.3

申请日：2012-02-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 李中伟 ,  史玉升 ,  钟凯 ,  王从军 ,  王秀鹏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于光学显微镜和变换光照的微观形貌三维测量方法。该方法根据光学显微镜在固定视点不同光照方向下拍摄得到的多张微观图像重建微观结构表面的三维形貌。其过程如下：首先采用UPS方法和表面可积性约束获得具有GBR歧义的表面反射率和法线方向；然后用基于最小熵的GBR消歧法得到无歧义的表面反射率和法线方向；为了减少噪声的影响，在马尔可夫随机场模型下，利用图割法进一步优化表面法线方向；最后，根据表面法线方向，采用积分的方法重建微观结构表面的三维形貌。