一种基于X射线的纳米结构参数提取方法及装置

    公开(公告)号:CN118565395A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410596107.0

    申请日:2024-05-14

    Abstract: 本发明属于X射线散射测量相关技术领域,其公开了一种基于X射线的纳米结构参数提取方法及装置,其中方法包括:S1,对标准样品进行X射线散射测量,根据散射强度建模公式以及标准样品的已知绝对散射强度,计算标定因子;S2,对待测样品进行X射线散射测量,根据散射强度建模公式以及标定因子,获取待测样品的绝对散射强度的测量值;S3,通过仿真获取待测样品的绝对散射强度的仿真值,根据仿真值与测量值的差异,优化获取待测样品的尺寸参数信息。本发明提出先标定待测样品的小角X射线绝对散射强度,然后利用绝对散射强度的测量值对仿真值进行优化,进而提取出尺寸参数信息,能够在单入射角下实现纳米结构X射线关键尺寸快速测量。

    一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法和装置

    公开(公告)号:CN114705705B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202210369982.6

    申请日:2022-04-08

    Abstract: 本发明公开了一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法和装置,属于小角散射技术领域,所述方法包括:S1:确定二维斜交光栅结构的第一斜交方向、第二斜交方向及结构特征参数;第一斜交方向和第二斜交方向上均存在周期排列的相同光栅单元;S2:以其中一个光栅单元中心为坐标原点、第二斜交方向为x轴建立直角坐标系;获取第一斜交方向与坐标系上y轴的夹角;S3:基于小角X射线散射原理和二维斜交光栅结构的分布特征构建二维斜交光栅结构对应的通用X射线散射场计算模型;将结构特征参数和夹角输入通用X射线散射场计算模型得到二维斜交光栅结构的散射强度。本发明能够提高二维斜交光栅结构散射强度的计算准确率。

    一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置

    公开(公告)号:CN114608494B

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202210330679.5

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 本发明属于半导体测量技术领域,具体涉及一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置,包括:对待测样品的纳米结构周期单元的三维形貌进行描述,并用以建立三维形貌的透射小角X射线散射场模型;对三维形貌进行透射小角X射线散射场测量,得到散射图谱,其中采用的定位系统能够大范围变化入射角和方位角,能够实现多角度散射图谱测量,在此基础上在参数提取中通过特定公式在图谱中直接提取三维形貌周期信息,提取方式高效、准确,上述公式是通过将不同旋转角度ω下的Δqxz用余弦函数进行拟合得到。本发明方法是一种全新的高效实现复杂IC纳米结构三维形貌快速、非破坏性、精确测量的方法。

    一种SAXS散射体的形状因子计算方法

    公开(公告)号:CN114742942B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202210271841.0

    申请日:2022-03-18

    Abstract: 本发明公开了一种SAXS散射体的形状因子计算方法,属于小角散射技术领域。本发明提出一种多面体表征的纳米结构的形状因子的新计算方法,通过将多面体分解成以各个面为基底、以质心为顶点的多棱锥单元,再将每个多棱锥单元分解成各个四面体单元,计算每个四面体单元的形状因子,根据傅里叶变换的线形叠加性质,计算所有四面体单元的形状因子的积分和,作为散射体的形状因子,从而很方便地适用于各种复杂结构的小角X射线散射计算。

    一种基于X射线入射角优化的套刻误差测量方法及系统

    公开(公告)号:CN117492331A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311417295.8

    申请日:2023-10-27

    Abstract: 本发明属于套刻误差测量领域,并具体公开了一种基于X射线入射角优化的套刻误差测量方法及系统,其包括:基于X射线散射场建模,确定套刻结构的套刻误差与散射强度的关系;进而得到套刻结构与理想双层纳米结构散射强度的相对差与套刻误差的近似线性关系;基于一对设置正负偏置量的套刻结构,根据近似线性关系,确定该对套刻结构散射强度与套刻误差的近似映射模型;采用不同入射角的X射线进行仿真,获取对应散射强度,根据近似映射模型计算得到套刻误差,根据套刻误差精度确定最优入射角;采用最优入射角对套刻结构进行测量,得到套刻误差。本发明可解决套刻误差测量中测量速度慢、步骤多、数据处理复杂的问题。

    一种SAXS散射体的形状因子计算方法

    公开(公告)号:CN114742942A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202210271841.0

    申请日:2022-03-18

    Abstract: 本发明公开了一种SAXS散射体的形状因子计算方法,属于小角散射技术领域。本发明提出一种多面体表征的纳米结构的形状因子的新计算方法,通过将多面体分解成以各个面为基底、以质心为顶点的多棱锥单元,再将每个多棱锥单元分解成各个四面体单元,计算每个四面体单元的形状因子,根据傅里叶变换的线形叠加性质,计算所有四面体单元的形状因子的积分和,作为散射体的形状因子,从而很方便地适用于各种复杂结构的小角X射线散射计算。

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