一种新型铁电晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111403485A

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN202010233375.8

    申请日:2020-03-29

    Abstract: 本发明属于晶体管领域,并具体公开了一种新型铁电晶体管及其制备方法。该新型铁电晶体管包括底栅、底部电极、沟道层、铁电介质层和顶栅,其中:底部电极设置在底栅的上方,作为新型铁电晶体管的源极和漏极,沟道层设置在底部电极和底栅的上方,铁电介质层将底部电极和沟道层包覆,以此完成封装,顶栅设置在铁电介质层的上方,并且部分或全部覆盖沟道层。本发明利用顶栅、底栅的电容耦合效应,通过底栅施加电压的方式对顶栅、铁电介质层产生极化效果,无需通过顶栅施加电压,无需预留顶栅电极引脚,有效减小了铁电晶体管集成电路的复杂程度;同时通过调节顶栅面积的大小,能够改变顶栅和底栅的耦合强度,实现不同强度的电荷掺杂。

    一种新型铁电晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111403485B

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202010233375.8

    申请日:2020-03-29

    Abstract: 本发明属于晶体管领域,并具体公开了一种新型铁电晶体管及其制备方法。该新型铁电晶体管包括底栅、底部电极、沟道层、铁电介质层和顶栅,其中:底部电极设置在底栅的上方,作为新型铁电晶体管的源极和漏极,沟道层设置在底部电极和底栅的上方,铁电介质层将底部电极和沟道层包覆,以此完成封装,顶栅设置在铁电介质层的上方,并且部分或全部覆盖沟道层。本发明利用顶栅、底栅的电容耦合效应,通过底栅施加电压的方式对顶栅、铁电介质层产生极化效果,无需通过顶栅施加电压,无需预留顶栅电极引脚,有效减小了铁电晶体管集成电路的复杂程度;同时通过调节顶栅面积的大小,能够改变顶栅和底栅的耦合强度,实现不同强度的电荷掺杂。

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