一种多轴激光扫描光学系统

    公开(公告)号:CN113319425A

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202110530086.9

    申请日:2021-05-14

    Abstract: 本发明属于激光加工领域,公开了一种多轴激光扫描光学系统,该系统包括动态聚焦模块(15)、光束平行平移模块(18)、二维扫描模块(7)和聚焦模块(8);动态聚焦模块用于控制激光光束的直径以及输出激光的焦点的Z坐标;光束平行平移模块用于调节激光光束传输方向在Y轴上的投影位置、以及激光光束传输方向在Z轴上的投影位置;该系统能够通过调控输入至二维扫描模块的激光光束其沿Y轴及沿Z轴的离轴方向与离轴距离,基于平行离轴激光束聚焦后与焦平面之间夹角会发生变化的原理,实现输出激光光束其传播方向与Y轴方向之间的夹角α、以及传播方向与X轴方向之间的夹角β的调控,从而实现对激光的多轴调控。

    一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统

    公开(公告)号:CN110449731A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201910794882.6

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 本发明属于光学设计领域,公开了一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统,该系统具有旋转轴,并包括依次沿光路设置的以下光学元件:激光束单方向压缩组件,由两片楔角相同的楔形镜构成的、且用于调节激光束偏移量的第一楔形镜组,用于诱导激光倾斜角的单片楔形镜(7),聚焦镜(8),以及由两片楔角相同的楔形镜构成的、且用于调节聚焦光斑偏移量的第二楔形镜组。本发明通过对系统中各组件的组成及各个组件之间的配合工作方式等进行改进,可实现大范围独立调节激光倾斜角和激光焦点离光轴量,进而可实现所需的孔径和锥度配比,并可补偿激光聚焦光斑离光轴和倾斜后因慧差而引起的聚焦光斑畸变,实现加工效果优良的激光变锥变径旋切孔加工工艺。

    一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统

    公开(公告)号:CN110449731B

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN201910794882.6

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 本发明属于光学设计领域,公开了一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统,该系统具有旋转轴,并包括依次沿光路设置的以下光学元件:激光束单方向压缩组件,由两片楔角相同的楔形镜构成的、且用于调节激光束偏移量的第一楔形镜组,用于诱导激光倾斜角的单片楔形镜(7),聚焦镜(8),以及由两片楔角相同的楔形镜构成的、且用于调节聚焦光斑偏移量的第二楔形镜组。本发明通过对系统中各组件的组成及各个组件之间的配合工作方式等进行改进,可实现大范围独立调节激光倾斜角和激光焦点离光轴量,进而可实现所需的孔径和锥度配比,并可补偿激光聚焦光斑离光轴和倾斜后因慧差而引起的聚焦光斑畸变,实现加工效果优良的激光变锥变径旋切孔加工工艺。

    一种激光擦写式频率选择表面的制备方法及产品

    公开(公告)号:CN115666215A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202210789249.X

    申请日:2022-07-06

    Abstract: 本发明属于电磁结构与激光加工相关技术领域,并公开了一种激光擦写式频率选择表面的制备方法,包括:在绝缘基体表面沉积高阻态记忆相变膜层和透射性保护层;通过不同阻态相变参数的脉冲激光对沉积的记忆相变膜层进行可逆诱导相变;采用激光扫描直接写入或掩膜投影加工,制得所需的频率选择表面产品。通过本发明,能够以高效可控、可靠性好的方式实现频率选择表面的制备、修改和重构功能。所制得的产品具有非易失性以及较强的稳定性能,可对谐振单元图形尺寸和阵列进行重复修改,确保复杂曲面的频率选择表面制备精度和质量,同时可大范围改变频率选择表面的谐振频率及传输通带。该制备方法还具备无污染、对绝缘基体表面不产生任何损伤等优点。

    一种声光动态调焦模块及三维扫描系统

    公开(公告)号:CN117600647A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311445722.3

    申请日:2023-11-01

    Abstract: 本发明公开了一种声光动态调焦模块及三维扫描系统。所述声光动态调焦模块包括依次沿光路设置的多个光学组件以及聚焦场镜,所述多个光学组件包括第一声光偏转器、第一凹面抛物面镜、第二凹面抛物面镜以及第二声光偏转器;所述第一凹面抛物面镜以及第二凹面抛物面镜的凹面相对设置;在任意两个光学组件之间设置有像差校正镜组;在任意两个光学组件之间设置有像差校正镜组;所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器用于通过自身的折射率变化,使经聚焦场镜聚焦后的激光的焦点沿光路方向发生偏转。本发明由于采取声光偏转器进行动态调焦,沿光路方向的调焦频率可提高到MHz级别,提高了三维扫描的速度,从而大幅提高了系统的调焦性能。

    含三片反射镜动态调焦模块的三维扫描装置、方法和系统

    公开(公告)号:CN115055815A

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202210790353.0

    申请日:2022-07-06

    Abstract: 本发明公开了含三片反射镜动态调焦模块的三维扫描装置、方法和系统,属于激光加工领域。本发明通过采用第一反射镜、双抛物面镜系统、第二反射镜组成动态调焦模块,采用第二反射镜、第三反射镜组成二维扫描模块。由于共用一片反射镜将动态调焦与二维扫描功能集成一体,可减小扫描加工装置的体积尺寸和重量,降低成本。本发明通过偏转第一反射镜和第二反射镜的相同角度,动态调节激光聚焦的焦平面到所需Z轴位置,再根据加工图形控制第二反射镜、第三反射镜的偏转角,在该焦平面上进行激光图形扫描加工,从而实现动态调焦激光三维加工,简化控制复杂性程度,减少累计误差,增加激光三维扫描加工精度以及抗外界干扰能力,提高光三维扫描加工效率。

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