公开(公告)号：CN113155286A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN202110386548.4

申请日：2021-04-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易飞 ,  万浩威 ,  谈小超 ,  陈岩

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/02 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。

公开(公告)号：CN110797419B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201911035464.5

申请日：2019-10-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易飞 ,  郭颂 ,  万浩威 ,  谈小超 ,  张建兵 ,  刘欢

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域，具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。本发明探测器自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层；所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成，所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属，所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。本发明通过调节叉指结构阵列的几何结构参数实现可见光到红外光的特定波长吸收，具有偏振探测能力，提高传统胶体量子点探测器探测灵敏度，能够应用于红外探测领域，并与新型探测材料胶体量子点相结合，形成了集成化，功能一体化的新型红外探测器。

公开(公告)号：CN113155286B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202110386548.4

申请日：2021-04-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易飞 ,  万浩威 ,  谈小超 ,  陈岩

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/02 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。

公开(公告)号：CN110797419A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201911035464.5

申请日：2019-10-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 易飞 ,  郭颂 ,  万浩威 ,  谈小超 ,  张建兵 ,  刘欢

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域，具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层；其中所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成，所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属，所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。叉指电极结构阵列上产生的局域表面等离激元共振效应与谐振腔的共同作用使得特定波长光能量逐渐被转化吸收殆尽，由探测材料胶体量子点转化为电信号，提高该偏振相关窄带探测器对光的吸收率。