低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法

    公开(公告)号:CN118522626A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410455843.4

    申请日:2024-04-16

    IPC分类号: H01J43/24

    摘要: 本发明提供一种低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法,该方法在完全绝缘的微孔阵列基片上,使用原子层沉积技术制备电阻层和发射层使之具备电子倍增能力,形成微通道板。电阻层采用铂掺杂氧化铝的复合膜层,通过膜层制备循环过程中的通水和臭氧的处理,提高羟基的密度,增强金属源化学吸附,实现高密度的金属纳米颗粒,实现电阻层的高可调控性,制作出低电阻温度系数的复合膜层,实现低电阻温度系数高稳定性微通道板,能够抑制常规微通道板低温下体电阻显著增大导致带电流补充不足的问题以及低体电阻微通道板高温下体电阻显著降低导致热溃溢问题,显著拓展微通道板的温度使用区间并提高使用过程中的增益、噪声的稳定性。

    微孔光学元件超薄低透过率反光膜

    公开(公告)号:CN111123421B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN202010077414.X

    申请日:2020-01-29

    IPC分类号: G02B5/08 C23C14/24 C23C14/20

    摘要: 本发明涉及微孔光学元件技术领域,提供一种微孔光学元件超薄低透过率反光膜,包括在微孔光学元件基底上依次形成的有机反射膜和金属反射膜,支撑所述金属反射膜。有机反射膜为紫外反射膜,金属反射膜为可见光反射膜。金属反射膜实现250nm~800nm波段的高反射,有机反射膜实现对100nm~250nm波段具有高反射率,使得超薄低透过率反光膜在100nm~800nm波段内平均透过率≤10‑5。有机材料制成的有机膜,对金属膜起到结构支撑作用,作为连接膜,膜层具有超致密特性,能够提供连续的镀膜基底,使铝膜能够连续生长成膜,有效的阻挡非探测波段的光信号,同时两层膜对X射线光学特性无影响,提高探测系统的分辨率。

    降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法

    公开(公告)号:CN110560906B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201910710181.X

    申请日:2019-08-02

    摘要: 本发明提供一种降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法,包括:飞秒激光器,用以产生并输出脉冲光信号;调制光学组件,设置在飞秒激光器的出光侧,用以将飞秒激光器产生的脉冲光信号转变为平行脉冲光束;微通道板固定架,被设置用于固定待处理的微通道板,所述微通道板为一多微孔结构的光学元件,所述每个微孔结构构成一通道;姿态调整组件,固定到所述微通道板固定架上;第一电机,通过驱动机构连接到并将旋转力矩传递到所述姿态调整机构,使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架的姿态调整,从而调整平行脉冲光束进入微通道板通道进行吹扫的角度和位置。通过本发明的均匀性激光脉冲吹扫,可明显降低微通道板的内表面粗糙度以及暗电流密度。

    微通道板受力形变量测试装置与方法

    公开(公告)号:CN116817778A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310608402.9

    申请日:2023-05-27

    摘要: 本发明提供一种微通道板受力形变量测试装置与方法,包括测试基座、可控力施加装置、夹持机构以及光学检测模块,光学检测模块输出端与计算机系统连接。可控力施加装置从微通道板的底部中心区域可控地施加压力,位于微通道板的正上方的光学检测模块从微通道板的顶部检测微通道板受力后的形变状态。本发明提出的微通道板受力形变量测试方法与装置,通过反向的天平结构对MCP底部中心区域施加可控作用力,在上方使用工具显微镜或3D轮廓仪测试MCP中心相较于边缘的形变量,可方便快捷的以形变系数来量化表征MCP的结构强度,实现微通道板用于像增强器、微通道板组件等器件中的抗冲击性能模拟测试。