微通道板受力形变量测试装置与方法
摘要:
本发明提供一种微通道板受力形变量测试装置与方法,包括测试基座、可控力施加装置、夹持机构以及光学检测模块,光学检测模块输出端与计算机系统连接。可控力施加装置从微通道板的底部中心区域可控地施加压力,位于微通道板的正上方的光学检测模块从微通道板的顶部检测微通道板受力后的形变状态。本发明提出的微通道板受力形变量测试方法与装置,通过反向的天平结构对MCP底部中心区域施加可控作用力,在上方使用工具显微镜或3D轮廓仪测试MCP中心相较于边缘的形变量,可方便快捷的以形变系数来量化表征MCP的结构强度,实现微通道板用于像增强器、微通道板组件等器件中的抗冲击性能模拟测试。
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