用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法

    公开(公告)号:CN111584325A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010389180.2

    申请日:2020-05-09

    IPC分类号: H01J9/00 H01J9/46 H01J9/385

    摘要: 本发明提供一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法,包括钟罩、载物台、底板以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置;钟罩顶部顶面的中心位置设置有第一电机,驱动氮气屏蔽装置转动;载物台设置有多个工位;氮气屏蔽装置包括上部分和下部分,均具有中空腔体,上部分被设置成与中心轴固定;上部分和/或下部分设置有排气孔,通过管路与钟罩上设置的充气孔连通;上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少一个,并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。本发明可在不影响装卸管操作的同时,又可最大限度的对腔室及所安装的零部件进行充氮气保护。

    用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法

    公开(公告)号:CN109755081A

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201910011850.4

    申请日:2019-01-07

    IPC分类号: H01J9/12

    摘要: 本发明提供一种用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法,包括:碱金属蒸镀、锑蒸镀、光电流曲线拟合与预测、光电流曲线斜率判断和锑蒸发电流调整。适于碱金属和锑同时蒸镀阶段,首先对光电流曲线进行拟合,然后预测未来固定时间范围内的光电流曲线斜率是否达到期望值,再判断实际光电流曲线斜率是否达到期望值,如果两者任一个达到期望值,则对实际光电流曲线斜率是否达到指定值进行判断,最终根据判断条件进行锑蒸发电流调整,重复上述过程直到光电流曲线斜率达到指定角度结束。利用本发明可解决碱金属锑化物光电阴极制作过程中由于锑出量不可控导致的碱金属与锑比例失调的问题,提高碱金属锑化物光电阴极光电发射性能。

    用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法

    公开(公告)号:CN111584325B

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202010389180.2

    申请日:2020-05-09

    IPC分类号: H01J9/00 H01J9/46 H01J9/385

    摘要: 本发明提供一种用于多工位大型阴极转移设备的氮气保护系统及操作方法,包括钟罩、载物台、底板以及可旋转地设置在钟罩内的氮气屏蔽装置;钟罩顶部顶面的中心位置设置有第一电机,驱动氮气屏蔽装置转动;载物台设置有多个工位;氮气屏蔽装置包括上部分和下部分,均具有中空腔体,上部分被设置成与中心轴固定连接;上部分和/或下部分设置有排气孔,通过管路与钟罩上设置的充气孔连通;上部分和下部分所包围形成的中空腔体被设置成用以包裹住所述多个工位中的至少一个,并且使多个工位中的至少一个处于未被包围的位置。本发明可在不影响装卸管操作的同时,又可最大限度的对腔室及所安装的零部件进行充氮气保护。

    用于大尺寸光电倍增管异形玻璃壳的自动清洗装置

    公开(公告)号:CN111389798B

    公开(公告)日:2021-03-12

    申请号:CN202010246691.9

    申请日:2020-03-31

    摘要: 本发明提供一种用于大尺寸光电倍增管异形玻璃壳的自动清洗装置,包括外壳以及由外壳限定的清洗腔体。外壳的顶面设置有储液箱,储液箱具有至少三个箱体。清洗腔体中设置有用于对玻璃壳的内外表面进行清洗的喷淋机构,与储液箱内部的箱体连通,并可进行切换连通。外壳的至少一个侧壁上设置有出风口,与外壳上设置的加热装置连通,用于向清洗腔体通入加热后的保护气体。清洗腔体的底部还设置有从底部向顶部伸展的、用于支撑玻璃壳的支撑机构,支撑机构被设置成可在竖直方向上进行高度调节,并可改变支撑半径以适应不同的尺寸的玻璃壳。利用本发明的自动清洗装置可实现对不同玻璃壳的适应并实现全方位、角度的无死角清洗。

    光电倍增管线性范围测试装置及方法

    公开(公告)号:CN111398762A

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN202010244627.7

    申请日:2020-03-31

    IPC分类号: G01R31/25

    摘要: 本发明提供一种光电倍增管线性范围测试装置与方法,包括光源、光源驱动器、分光暗箱、积分球、导光件、测试暗箱、测试电子学系统和计算机。光源发光后照射到分光暗箱;分光暗箱为具有一个入光口和一个出光口的不透明箱体,通过所述分光暗箱进行光束分光输出,通过出光口照射到积分球内混合均匀;积分球出光口与测试暗箱入光口之间通过导光件连接;测试电子学系统用于提供光电倍增管工作的高压以及测量光电倍增管的输出信号;计算机,用于控制测试装置的运行,包括用于控制控制光源驱动器、控制分光暗箱中的电动装置实现分光、控制并配置测试电子学系统测试以及读取测试电子学系统的测量值并经过处理后生成测试结果。

    用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置

    公开(公告)号:CN111463090B

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202010388694.6

    申请日:2020-05-09

    IPC分类号: H01J9/26 H01J43/28

    摘要: 本发明提供一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置,包括:可公转的旋转台,石英支撑环,一对半圆形夹具,每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨,光电倍增管腔室,设置有MCP组件支撑筒、传动丝杠、导向杆和MCP底座,MCP组件,位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆和下可伐盘安装到MCP底座上,传动丝杠通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部,通过导向杆进行导向,两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内,使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置,并进入半圆形夹具底部的导轨内,通过导轨作用,使得弹簧预顶组件可向一个方向进行微调偏移,使其顺利进入半圆形夹具,最后完成上下可伐盘封接。

    光电倍增管线性范围测试装置及方法

    公开(公告)号:CN111398762B

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202010244627.7

    申请日:2020-03-31

    IPC分类号: G01R31/25

    摘要: 本发明提供一种光电倍增管线性范围测试装置与方法,包括光源、光源驱动器、分光暗箱、积分球、导光件、测试暗箱、测试电子学系统和计算机。光源发光后照射到分光暗箱;分光暗箱为具有一个入光口和一个出光口的不透明箱体,通过所述分光暗箱进行光束分光输出,通过出光口照射到积分球内混合均匀;积分球出光口与测试暗箱入光口之间通过导光件连接;测试电子学系统用于提供光电倍增管工作的高压以及测量光电倍增管的输出信号;计算机,用于控制测试装置的运行,包括用于控制控制光源驱动器、控制分光暗箱中的电动装置实现分光、控制并配置测试电子学系统测试以及读取测试电子学系统的测量值并经过处理后生成测试结果。