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公开(公告)号：CN107511847A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710954460.1
申请日：2017-10-13
Abstract: 本发明公开了一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，机器人末端由电机同步带实现翻转的动作，密封组件末端连接法兰连接翻转抓手，定管与前端的气路连接并由法兰固定在末端壳体内。吸附晶圆时的密封过程如下，气阀在气路内部产生负压，洁净室相对气路为正压，此时内外气压差将橡胶密封圈外圈压在定管上，由此气路密封可以进行晶圆的吸附抓取。因为密封是靠内外气压差进行的，所以进行翻转动作时完全不会影响气路的密封效果。此种气路方案避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计，并且极大程度的降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN107511847B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710954460.1
申请日：2017-10-13
Abstract: 本发明公开了一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，机器人末端由电机同步带实现翻转的动作，密封组件末端连接法兰连接翻转抓手，定管与前端的气路连接并由法兰固定在末端壳体内。吸附晶圆时的密封过程如下，气阀在气路内部产生负压，洁净室相对气路为正压，此时内外气压差将橡胶密封圈外圈压在定管上，由此气路密封可以进行晶圆的吸附抓取。因为密封是靠内外气压差进行的，所以进行翻转动作时完全不会影响气路的密封效果。此种气路方案避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计，并且极大程度的降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN105540323A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610055486.8
申请日：2016-01-27
Applicant: 北华航天工业学院
CPC classification number: B65H37/04 , B65H35/0013 , B65H35/008
Abstract: 本发明涉及用于双面胶带粘贴的设备技术领域，尤其是涉及一种复合功能全自动粘贴双面胶带设备。其特点是包括工作台，所述的工作台上设置有工作台面，工作台两侧分别设置左单臂运动机构和右单臂运动机构，左单臂运动机构和右单臂运动机构下端连接粘贴机头主体，所述的工作台面下方前端设置有上料机构支架，对应上料卷筒的工作台后部设置有设置有纠偏控制系统，所述的工作台面前方设置有恒张力控制装置，所述的工作台一侧设置有更换胶带主体，所述的工作台上还设置有电气按钮板。其实现胶带粘贴稳定、牢靠、不黏连以及实现更换胶带的自动化，较之手动更换胶带，生产效率更高，产品质量更可靠，生产节拍更便于计算和控制。
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公开(公告)号：CN205526963U
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201620081189.6
申请日：2016-01-27
Applicant: 北华航天工业学院
Abstract: 本实用新型涉及一种复合功能全自动粘贴双面胶带设备，用于双面胶带粘贴的设备技术领域。其特点是包括工作台，所述的工作台上设置有工作台面，工作台两侧分别设置左单臂运动机构和右单臂运动机构，左单臂运动机构和右单臂运动机构下端连接粘贴机头主体，所述的工作台面下方前端设置有上料机构支架，对应上料卷筒的工作台后部设置有设置有纠偏控制系统，所述的工作台面前方设置有恒张力控制装置，所述的工作台一侧设置有更换胶带主体，所述的工作台上还设置有电气按钮板。其实现胶带粘贴稳定、牢靠、不黏连以及实现更换胶带的自动化，较之手动更换胶带，生产效率更高，产品质量更可靠，生产节拍更便于计算和控制。
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