公开(公告)号：CN108666395A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810510314.4

申请日：2018-05-24

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 吴真平 ,  王月晖 ,  支钰崧 ,  焦雷 ,  张晓 ,  陈政委 ,  唐为华

IPC: H01L31/20 ,  H01L31/108 ,  H01L31/0376 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明公开了基于非晶氧化镓薄膜的日盲紫外光电探测器及其制备方法，属于光电探测器技术领域。该方法采用(0001)晶面的Al2O3作为衬底，并对衬底进行清洗；然后将清洗干净的衬底送入沉积室中，在衬底上应用射频磁控溅射技术生长氧化镓薄膜；最后在非晶氧化镓薄膜上用镂空的叉指掩膜板遮挡，采用直流磁控溅射方法在叉指掩膜板上溅射一层叉指金属电极，得到日盲紫外光电探测器，结构为MSM型三明治结构，从下到上分别是Al2O3衬底，非晶态氧化镓薄膜材料，Ti/Au叉指金属电极。本发明制造工艺简单，重复性好，暗电流小，稳定性高，响应速度快,紫外可见抑制比高，符合节能减排的理念，适宜进行大规模生产，具有广阔的发展前景。