公开(公告)号：CN106705888A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201611105616.0

申请日：2016-12-05

Applicant: 北京空间机电研究所

Inventor： 王永刚 ,  李文卿 ,  孟晓辉 ,  代琛 ,  李昂 ,  王聪

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B11/254

Abstract: 本发明提出一种干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，所利用的非线性标定系统主要由激光干涉仪、补偿器、待测反射镜及其调整机构、柔性标定靶带组成。标定时，柔性标定靶带粘贴在待测反射镜镜面上。通过测量及数据处理，可获取待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程。根据非线性关系方程，可对实际测量的面形误差分布进行非线性矫正。本发明不但可以用于指导大口径、大曲率反射镜加工中的精确检测；还可以用于光学系统全链路仿真中，镜面坐标系与系统仿真模型的笛卡尔坐标系之间的非线性矫正和补偿。

公开(公告)号：CN106705888B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201611105616.0

申请日：2016-12-05

Applicant: 北京空间机电研究所

Inventor： 王永刚 ,  李文卿 ,  孟晓辉 ,  代琛 ,  李昂 ,  王聪

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明提出一种干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，所利用的的非线性标定系统主要由激光干涉仪、补偿器、待测反射镜及其调整机构、柔性标定靶带组成。标定时，柔性标定靶带粘贴在待测反射镜镜面上。通过测量及数据处理，可获取待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程。根据非线性关系方程，可对实际测量的面形误差分布进行非线性矫正。本发明不但可以用于指导大口径、大曲率反射镜加工中的精确检测；还可以用于光学系统全链路仿真中，镜面坐标系与系统仿真模型的笛卡尔坐标系之间的非线性矫正和补偿。